|
|
| نام تجاری: | Mingseal |
| شماره مدل: | SS101 |
| مقدار تولیدی: | 1 |
| قیمت: | $28000-$150000 / pcs |
| زمان تحویل: | 5-60 روز |
| شرایط پرداخت: | L/C، D/A، D/P، T/T، وسترن یونیون |
| دستگاه توزیع در سطح ویفر SS101 | مشخصات |
|---|---|
| محدوده کاربرد | پیکربندی ویفر | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (نسخه استاندارد فقط از 12 اینچ پشتیبانی می‌کند) |
| ضخامت ویفر | 300~25500 μm |
| حداکثر تاب ویفر قابل قبول | 5 میلی‌متر (بسته به انتخاب مدل انگشت) |
| حداکثر وزن ویفر | 600 گرم (بسته به انتخاب مدل انگشت) |
| نوع جعبه ویفر پشتیبانی شده | کاست باز 8 اینچی / Foup 12 اینچی (نسخه استاندارد فقط از 12 اینچ پشتیبانی می‌کند) |
| PC101 (EFEM) | روش بارگیری و تخلیه | Landport + بازوی رباتیک |
| دقت پیش‌هم‌ترازی | انحراف تصحیح مرکز دایره ≤ ±0.1 میلی‌متر انحراف تصحیح زاویه ≤ ±0.2 درجه |
| خواننده ویفر | پشتیبانی از فونت‌های SEMI (سطوح صاف یا برجسته)، فونت‌های غیر SEMI |
| سیستم جتینگ | سیستم انتقال | X/Y: موتور خطی Z: موتور سروو + ماژول پیچ |
| تکرارپذیری (3 سیگما) | X/Y: ±3 μm Z: ±5 μm |
| دقت موقعیت‌یابی (3 سیگما) | X/Y: ±10 μm |
| حداکثر سرعت | X/Y: 1000 میلی‌متر بر ثانیه Z: 500 میلی‌متر بر ثانیه |
| حداکثر شتاب | X/Y: 1g Z: 0.5g |
| سیستم بصری | پیکسل | 130W |
| دقت شناسایی | ±1 پیکسل |
| محدوده شناسایی | 10*12 میلی‌متر |
| منبع نور | نور ترکیبی قرمز، سبز، سفید + نور قرمز اضافی |
| میز چاک | انحراف صافی مکش خلاء | ≤30 μm |
| انحراف دمای گرمایش | ±1.5 °C |
| تکرارپذیری ارتفاع بالابر | ±10 μm |
| فشار مکش خلاء | -85~-70KPa (قابل تنظیم) |
| شرایط عمومی | رد پا عرض * عمق * ارتفاع | 3075*2200*2200 میلی‌متر (صفحه نمایش باز شده) |
| دمای محیط عملیاتی | 23 °C ±3 °C |
| رطوبت محیط عملیاتی | 30-70% |
