|
|
| نام تجاری: | Mingseal |
| شماره مدل: | SS101 |
| مقدار تولیدی: | 1 |
| قیمت: | $28000-$150000 / pcs |
| زمان تحویل: | 5-60 روز |
| شرایط پرداخت: | L/C، D/A، D/P، T/T، وسترن یونیون |
| SS101 دستگاه توزیع سطح وافره | مشخصات |
|---|---|
| محدوده کاربرد. پیکربندی وافره | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (نسخه استاندارد فقط از 12 اینچ پشتیبانی می کند) |
| ضخامت وافره | ۳۰۰ تا ۲۵۵۰۰ μm |
| مکس، وافر وارپ قابل قبول | 5 میلی متر (بر اساس انتخاب مدل انگشت) |
| حداکثر وزن وافره | 600g (مطابق با انتخاب مدل انگشت) |
| نوع جعبه وفر پشتیبانی شده | 8 اینچ Open Cassette/ 12 اینچ Foup (نسخه استاندارد فقط 12 اینچ را پشتیبانی می کند) |
| PC101 (EFEM) -- روش بارگیری و تخلیه | لندپورت + بازوی رباتیک |
| دقت پیش از تراز | انحراف اصلاح مرکز دایره ≤ ±0.1 mm انحراف اصلاح زاویه ≤ ±0.2° |
| خواننده وافره | پشتیبانی از فونت های SEMI (سطحات صاف یا برجسته) ، فونت های غیر SEMI |
| سیستم جتینگ. سیستم انتقال. | X/Y: موتور خطی Z: موتور سرو و ماژول پیچ |
| تکرار پذیری (3سیگما) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| دقت موقعیت (۳ سیگما) | X/Y: ±10 μm |
| حداکثر سرعت | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| حداکثر شتاب | X/Y:1g Z: 0.5g |
| سیستم بصری ٬ پیکسل | 130W |
| دقت را شناسایی کنید | ±1 پیکسل |
| محدوده را مشخص کنید | 10*12 میلی متر |
| منبع نور | نور قرمز، سبز، سفید ترکیبی + نور قرمز اضافی |
| جدول چک ---- مکش خلاء انحراف مسطح | ≤30 μm |
| انحراف دمای گرمایش | ±1.5°C |
| قابلیت تکرار ارتفاع بلند کردن | ±10 μm |
| فشار مکش خلاء | -85~-70KPa (قابل تنظیم) |
| حالت کلی. اثر پا W* D* H | 3075*2200*2200mm (پاشگاه صفحه نمایش گسترش می یابد) |
| دمای محیط عملیاتی | 23°C±3°C |
| عملیات رطوبت محیط زیست | ۳۰ تا ۷۰ درصد |
