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| Nom De Marque: | Mingseal |
| Numéro De Modèle: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Prix: | $28000-$150000 / pcs |
| Délai De Livraison: | 5 à 60 jours |
| Conditions De Paiement: | L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union |
| Machine de distribution au niveau du wafer SS101 | Spécifications |
|---|---|
| Plage d'application | Configuration du wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (La version standard ne prend en charge que le 12 pouces) |
| Épaisseur du wafer | 300~25500 μm |
| Déformation maximale acceptable du wafer | 5 mm (sous réserve de la sélection du modèle de doigt) |
| Poids maximal du wafer | 600 g (sous réserve de la sélection du modèle de doigt) |
| Type de boîte à wafer pris en charge | Cassette ouverte 8 pouces / Foup 12 pouces (La version standard ne prend en charge que le 12 pouces) |
| PC101 (EFEM) | Méthode de chargement et de déchargement | Landport + Bras robotisé |
| Précision du pré-aligneur | Déviation de correction du centre du cercle ≤ ±0,1 mm Déviation de correction d'angle ≤ ±0,2° |
| Lecteur de wafer | Prend en charge les polices SEMI (surfaces planes ou en relief), les polices non-SEMI |
| Système de jet | Système de transmission | X/Y : Moteur linéaire Z : Servomoteur + module à vis |
| Répétabilité (3 sigma) | X/Y : ±3 μm Z : ±5 μm |
| Précision de positionnement (3 sigma) | X/Y : ±10 μm |
| Vitesse maximale | X/Y : 1000 mm/s Z : 500 mm/s |
| Accélération maximale | X/Y : 1g Z : 0,5g |
| Système visuel | Pixel | 130W |
| Précision d'identification | ±1 pixel |
| Plage d'identification | 10*12mm |
| Ressource lumineuse | Lumière combinée rouge, verte, blanche + éclairage rouge supplémentaire |
| Table de serrage | Déviation de planéité de l'aspiration par le vide | ≤30 μm |
| Déviation de température de chauffage | ±1,5 °C |
| Répétabilité de la hauteur de levage | ±10 μm |
| Pression d'aspiration par le vide | -85~-70 KPa (Réglable) |
| Condition générale | Empreinte au sol L*P*H | 3075*2200*2200 mm (Écran déplié) |
| Température de l'environnement d'exploitation | 23 °C ±3 °C |
| Humidité de l'environnement d'exploitation | 30-70% |
