|
|
| الاسم التجاري: | Mingseal |
| رقم الطراز: | SS101 |
| الـ MOQ: | 1 |
| السعر: | $28000-$150000 / pcs |
| وقت التسليم: | 5-60 يوم |
| شروط الدفع: | L / C ، D / A ، D / P ، T / T ، ويسترن يونيون |
| جهاز توزيع على مستوى الرقاقة SS101 | المواصفات |
|---|---|
| نطاق التطبيق | تكوين الرقاقة | φ200±0.5 مم / φ300±0.5 مم (الإصدار القياسي يدعم 12 بوصة فقط) |
| سمك الرقاقة | 300 ~ 25500 μm |
| أقصى انحناء مقبول للرقاقة | 5 مم (يخضع لاختيار نموذج الإصبع) |
| أقصى وزن للرقاقة | 600 جرام (يخضع لاختيار نموذج الإصبع) |
| نوع صندوق الرقاقة المدعوم | شريط مفتوح 8 بوصة / FOUP 12 بوصة (الإصدار القياسي يدعم 12 بوصة فقط) |
| PC101 (EFEM) | طريقة التحميل والتفريغ | منفذ أرضي + ذراع روبوت |
| دقة المحاذاة المسبقة | انحراف تصحيح مركز الدائرة ≤ ±0.1 مم انحراف تصحيح الزاوية ≤ ±0.2° |
| قارئ الرقاقة | يدعم خطوط SEMI (أسطح مسطحة أو بارزة)، خطوط غير SEMI |
| نظام الرش | نظام النقل | X/Y: محرك خطي Z: محرك سيرفو + وحدة لولبية |
| التكرار (3 سيجما) | X/Y: ±3 μm Z: ±5 μm |
| دقة تحديد الموضع (3 سيجما) | X/Y: ±10 μm |
| السرعة القصوى | X/Y: 1000 مم/ثانية Z: 500 مم/ثانية |
| أقصى تسارع | X/Y: 1 جرام Z: 0.5 جرام |
| النظام المرئي | البكسل | 130 واط |
| دقة التعرف | ±1 بكسل |
| نطاق التعرف | 10 * 12 مم |
| مصدر الضوء | ضوء أحمر، أخضر، أبيض مدمج + إضاءة حمراء إضافية |
| طاولة الشفط | انحراف استواء الشفط الفراغي | ≤30 μm |
| انحراف درجة حرارة التسخين | ±1.5 °C |
| تكرار ارتفاع الرفع | ±10 μm |
| ضغط الشفط الفراغي | -85 ~ -70 كيلو باسكال (قابل للضبط) |
| الحالة العامة | البصمة العرض * العمق * الارتفاع | 3075 * 2200 * 2200 مم (شاشة العرض مفتوحة) |
| درجة حرارة بيئة التشغيل | 23 °C ±3 °C |
| رطوبة بيئة التشغيل | 30-70% |
