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| Marchio: | Mingseal |
| Numero modello: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| prezzo: | $28000-$150000 / pcs |
| Tempo di consegna: | 5-60 giorni |
| Termini di pagamento: | L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union |
| Macchina di dispensazione a livello di wafer SS101 | Specifiche |
|---|---|
| Intervallo di applicazione | Configurazione wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (La versione standard supporta solo 12 pollici) |
| Spessore wafer | 300~25500 μm |
| Massima deformazione wafer accettabile | 5mm (soggetto alla selezione del modello di dito) |
| Peso massimo wafer | 600g (soggetto alla selezione del modello di dito) |
| Tipo di box wafer supportato | Cassetta aperta da 8 pollici / Foup da 12 pollici (La versione standard supporta solo 12 pollici) |
| PC101 (EFEM) | Metodo di carico e scarico | Landport + Braccio robotico |
| Precisione pre-allineatore | Deviazione correzione centro cerchio ≤ ±0.1 mm Deviazione correzione angolo ≤ ±0.2° |
| Lettore wafer | Supporta font SEMI (superfici piane o in rilievo), font non SEMI |
| Sistema di getto | Sistema di trasmissione | X/Y: Motore lineare Z: Motore servo e modulo vite |
| Ripetibilità (3 sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Precisione di posizionamento (3 sigma) | X/Y:±10 μm |
| Velocità massima | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Accelerazione massima | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Sistema visivo | Pixel | 130W |
| Precisione di identificazione | ±1 pixel |
| Intervallo di identificazione | 10*12mm |
| Risorsa luminosa | Luce combinata rossa, verde, bianca + illuminazione rossa aggiuntiva |
| Tavola a vuoto | Deviazione planarità aspirazione vuoto | ≤30 μm |
| Deviazione temperatura di riscaldamento | ±1.5℃ |
| Ripetibilità altezza di sollevamento | ±10 μm |
| Pressione aspirazione vuoto | -85~-70KPa (Impostabile) |
| Condizioni generali | Ingombro L*P*A | 3075*2200*2200mm (Schermo display aperto) |
| Temperatura ambiente operativo | 23℃±3℃ |
| Umidità ambiente operativo | 30-70% |
