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| Marchio: | Mingseal |
| Numero modello: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| prezzo: | $28000-$150000 / pcs |
| Tempo di consegna: | 5-60 giorni |
| Termini di pagamento: | L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union |
| SS101 Macchina di distribuzione a livello di wafer | Specificità |
|---|---|
| Dimensione di applicazione. Configurazione Wafer | φ200±0,5 mm/φ300±0,5 mm (la versione standard supporta solo 12 pollici) |
| Spessore della wafer | 300-25500 μm |
| Max. Acceptabile Wafer Warp | 5 mm (a seconda della scelta del modello Finger) |
| Peso massimo della wafer | 600 g (a seconda della scelta del modello Finger) |
| Tipo di scatola di wafer supportata | 8 pollici Open Cassette/ 12 pollici Foup (Versione standard supporta solo 12 pollici) |
| PC101 (EFEM) Il metodo di carico e scarico | Landport + braccio robot |
| Precisione del pre-allineatore | Diviazione di correzione del centro del cerchio ≤ ±0,1 mm Diviazione di correzione dell'angolo ≤ ±0,2° |
| lettore di wafer | supporto per caratteri SEMI (superfici piatte o in rilievo), caratteri non SEMI |
| Sistema di getto. Sistema di trasmissione | X/Y: motore lineare Z: servomotore e modulo a vite |
| Ripetibilità (3 sigma) | X/Y: ± 3 μm Z: ± 5 μm |
| Accuratezza di posizionamento (3 sigma) | X/Y: ± 10 μm |
| Max. velocità. | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Max. Accelerazione | X/Y:1g Z: 0,5g |
| Sistema visivo. | 130 W |
| Identificare l'accuratezza | ± 1 pixel |
| Identificare la gamma | 10*12 mm |
| Risorsa luminosa | Luce combinata rosso, verde, bianco + illuminazione extra rosso |
| Chuck Tavola. Succisione a vuoto, deviazione di pianura. | ≤ 30 μm |
| Diviazione della temperatura di riscaldamento | ± 1,5°C |
| Ripetibilità dell'altezza di sollevamento | ± 10 μm |
| Pressione di aspirazione a vuoto | -85~-70KPa (adattabile) |
| Condizione generale. | 3075*2200*2200mm (spalmare lo schermo) |
| Temperatura dell'ambiente di funzionamento | 23°C±3°C |
| Operazione Umidità ambientale | 30-70% |
