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| ब्रांड नाम: | Mingseal |
| मॉडल संख्या: | एसएस101 |
| एमओक्यू: | 1 |
| मूल्य: | $28000-$150000 / pcs |
| प्रसव का समय: | 5-60 दिन |
| भुगतान की शर्तें: | एल/सी, डी/ए, डी/पी, टी/टी, वेस्टर्न यूनियन |
| SS101 वेफर लेवल डिस्पेंसर | विनिर्देश |
|---|---|
| अनुप्रयोग रेंज. वेफर विन्यास | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (मानक संस्करण केवल 12-इंच का समर्थन करता है) |
| वेफर की मोटाई | 300 से 25500 माइक्रोन |
| अधिकतम स्वीकार्य वेफर Warp | 5 मिमी (फिंगर मॉडल के चयन के अधीन) |
| अधिकतम. वेफर वजन | 600 ग्राम (फिंगर मॉडल के चयन के अधीन) |
| समर्थित वेफर-बॉक्स प्रकार | 8-इंच ओपन कैसेट/ 12-इंच फूप (मानक संस्करण केवल 12-इंच का समर्थन करता है) |
| PC101 (EFEM) ∙ लोडिंग और अनलोडिंग विधि | लैंडपोर्ट + रोबोट आर्म |
| पूर्व संरेखक परिशुद्धता | सर्कल केंद्र सुधार विचलन ≤ ±0.1 मिमी कोण सुधार विचलन ≤ ±0.2° |
| वेफर रीडर | सेमी फ़ॉन्ट्स (फ्लैट या रिम्बॉस सतहों) का समर्थन करने वाले, गैर-सेमी फ़ॉन्ट्स |
| जेटिंग सिस्टम ट्रांसमिशन सिस्टम | X/Y: रैखिक मोटर Z: सर्वो मोटर और स्क्रू मॉड्यूल |
| पुनरावृत्ति (3 सिग्मा) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| स्थिति की सटीकता (3 सिग्मा) | एक्स/वाईः±10 μm |
| अधिकतम गति | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| अधिकतम त्वरण | X/Y:1g Z: 0.5g |
| दृश्य प्रणाली ∙ पिक्सेल | 130W |
| सटीकता की पहचान करें | ± 1 पिक्सेल |
| रेंज की पहचान करें | 10*12 मिमी |
| प्रकाश संसाधन | लाल, हरा, सफेद संयुक्त प्रकाश + अतिरिक्त लाल प्रकाश |
| चक टेबल∙ वैक्यूम सक्शन समतलता विचलन | ≤30 μm |
| हीटिंग तापमान विचलन | ±1.5°C |
| उठाने की ऊंचाई दोहराव | ±10 μm |
| वैक्यूम सक्शन दबाव | -85~-70KPa (सेट करने योग्य) |
| सामान्य स्थिति | 3075*2200*2200 मिमी (डिस्प्ले स्क्रीन खोलना) |
| परिचालन वातावरण का तापमान | 23°C±3°C |
| ऑपरेशन पर्यावरण आर्द्रता | 30-70% |
