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| 브랜드 이름: | Mingseal |
| 모델 번호: | SS101 |
| 모크: | 1 |
| 가격: | $28000-$150000 / pcs |
| 배달 시간: | 5-60 일 |
| 지불 조건: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western 통합 |
| SS101 웨이퍼 레벨 분배 기계 | 사양 |
|---|---|
| 응용 범위. 웨이퍼 구성 | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (표준 버전은 12인치만 지원) |
| 웨이퍼 두께 | 300~25500μm |
| 최대 수용 가능한 웨이퍼 워프 | 5mm (Finger 모델 선택에 따라) |
| 최대 웨이퍼 무게 | 600g (손가락 모델 선택에 따라) |
| 지원되는 웨이퍼 박스 타입 | 8인치 오픈 카세트/ 12인치 Foup (표준 버전은 12인치만 지원) |
| PC101 (EFEM) | 랜드포트 + 로봇 팔 |
| 선진 정렬 정밀 | 원 중심 교정편차 ≤ ±0.1mm 각 교정편차 ≤ ±0.2° |
| 웨이퍼 리더 | SEMI 글꼴을 지원하는 글꼴 (평면 또는 부각형 표면), SEMI 글꼴이 아닌 글꼴 |
| 제팅 시스템. 전송 시스템 | X/Y: 선형 모터 Z: 세르보 모터와 스크루 모듈 |
| 반복성 (3시그마) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| 위치 정확성 (3시그마) | X/Y:±10 μm |
| 최대 속도 | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| 최대 가속 | X/Y:1g Z: 0.5g |
| 시각 시스템 픽셀 | 130W |
| 정확성 을 확인 | ±1 픽셀 |
| 범위를 확인 | 10*12mm |
| 빛 자원 | 빨간색, 녹색, 흰색 복합 조명 + 추가 빨간색 조명 |
| 턱 테이블. 진공 흡수 평면 편차 | ≤ 30μm |
| 난방 온도 오차 | ±1.5°C |
| 리프팅 높이의 반복성 | ±10μm |
| 진공 흡수 압력 | -85~-70KPa (설정 가능) |
| 일반적인 상태입니다. | 3075*2200*2200mm (디스플레이 화면 펼쳐) |
| 작동 환경 온도 | 23°C±3°C |
| 작업 환경 습도 | 30~70% |
