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| 브랜드 이름: | Mingseal |
| 모델 번호: | SS101 |
| 모크: | 1 |
| 가격: | $28000-$150000 / pcs |
| 배달 시간: | 5-60 일 |
| 지불 조건: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western 통합 |
| SS101 웨이퍼 레벨 디스펜싱 머신 | 사양 |
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| 응용 범위 | 웨이퍼 구성 | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (표준 버전은 12인치만 지원) |
| 웨이퍼 두께 | 300~25500 μm |
| 최대 허용 웨이퍼 변형 | 5mm (핑거 모델 선택에 따라 다름) |
| 최대 웨이퍼 무게 | 600g (핑거 모델 선택에 따라 다름) |
| 지원 웨이퍼 박스 유형 | 8인치 오픈 카세트/ 12인치 Foup (표준 버전은 12인치만 지원) |
| PC101 (EFEM) | 로딩 및 언로딩 방법 | 랜드포트 + 로봇 팔 |
| 프리얼라이너 정밀도 | 원 중심 보정 편차 ≤ ±0.1 mm 각도 보정 편차 ≤ ±0.2° |
| 웨이퍼 리더 | SEMI 글꼴(평면 또는 엠보싱 표면), 비-SEMI 글꼴 지원 |
| 제팅 시스템 | 전송 시스템 | X/Y: 리니어 모터 Z: 서보 모터 & 스크류 모듈 |
| 반복성(3시그마) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| 위치 결정 정확도(3시그마) | X/Y:±10 μm |
| 최대 속도 | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| 최대 가속도 | X/Y:1g Z: 0.5g |
| 비주얼 시스템 | 픽셀 | 130W |
| 식별 정확도 | ±1픽셀 |
| 식별 범위 | 10*12mm |
| 광원 | 빨강, 녹색, 흰색 복합광 + 추가 빨간색 조명 |
| 척 테이블 | 진공 흡입 평탄도 편차 | ≤30 μm |
| 가열 온도 편차 | ±1.5℃ |
| 리프팅 높이 반복성 | ±10 μm |
| 진공 흡입 압력 | -85~-70KPa (설정 가능) |
| 일반 조건 | 설치 면적 W* D * H | 3075*2200*2200mm (디스플레이 화면 펼침) |
| 작동 환경 온도 | 23℃±3℃ |
| 작동 환경 습도 | 30-70% |
