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| ブランド名: | Mingseal |
| モデル番号: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| 価格: | $28000-$150000 / pcs |
| 配達時間: | 5〜60日 |
| 支払条件: | L/C,D/A,D/P,T/T,ウェスタン・ユニオン |
| SS101ウェーハレベルディスペンシングマシン | 仕様 |
|---|---|
| 応用範囲 | ウェーハ構成 | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm（標準バージョンは12インチのみサポート） |
| ウェーハ厚 | 300〜25500μm |
| 最大許容ウェーハ反り | 5mm（フィンガーモデルの選択による） |
| 最大ウェーハ重量 | 600g（フィンガーモデルの選択による） |
| サポートされるウェーハボックスタイプ | 8インチオープンカセット/ 12インチFoup（標準バージョンは12インチのみサポート） |
| PC101（EFEM）| ロード＆アンロード方法 | ランドポート + ロボットアーム |
| プリサイアライナー精度 | 円中心補正偏差 ≤ ±0.1 mm 角度補正偏差 ≤ ±0.2° |
| ウェーハリーダー | SEMIフォント（フラットまたはエンボス加工面）、非SEMIフォントをサポート |
| ジェットシステム | 伝送システム | X/Y: リニアモーター Z: サーボモーター・スクリューモジュール |
| 繰り返し精度（3σ） | X/Y:±3μm Z:±5μm |
| 位置決め精度（3σ） | X/Y:±10μm |
| 最高速度 | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| 最大加速度 | X/Y:1g Z: 0.5g |
| ビジュアルシステム | ピクセル | 130W |
| 識別精度 | ±1ピクセル |
| 識別範囲 | 10*12mm |
| 光源 | 赤、緑、白の複合光 + 追加の赤色照明 |
| チャックテーブル | 真空吸引平面度偏差 | ≤30μm |
| 加熱温度偏差 | ±1.5℃ |
| リフティング高さ繰り返し精度 | ±10μm |
| 真空吸引圧力 | -85〜-70KPa（設定可能） |
| 一般条件 | フットプリント W* D * H | 3075*2200*2200mm（ディスプレイ画面展開時） |
| 操作環境温度 | 23℃±3℃ |
| 操作環境湿度 | 30-70% |
