|
|
| Наименование марки: | Mingseal |
| Номер модели: | СС101 |
| MOQ: | 1 |
| цена: | $28000-$150000 / pcs |
| Срок доставки: | 5-60 дней |
| Условия оплаты: | Аккредитив, безотзывный аккредитив, документы против акцепта, документы против платежа, банковский п |
| Машина для дозирования на уровне пластин SS101 | Спецификации |
|---|---|
| Диапазон применения | Конфигурация пластины | φ200±0.5 мм/φ300±0.5 мм (стандартная версия поддерживает только 12 дюймов) |
| Толщина пластины | 300~25500 μm |
| Макс. допустимая деформация пластины | 5 мм (зависит от выбора модели захвата) |
| Макс. вес пластины | 600 г (зависит от выбора модели захвата) |
| Поддерживаемый тип коробки для пластин | 8-дюймовая открытая кассета/ 12-дюймовая FOUP (стандартная версия поддерживает только 12 дюймов) |
| PC101 (EFEM) | Метод загрузки и выгрузки | Landport + роботизированная рука |
| Точность предварительного выравнивателя | Отклонение коррекции центра круга ≤ ±0.1 мм Отклонение коррекции угла ≤ ±0.2° |
| Считыватель пластин | Поддержка шрифтов SEMI (плоские или рельефные поверхности), шрифтов не-SEMI |
| Система струйной подачи | Трансмиссионная система | X/Y: Линейный двигатель Z: Серводвигатель/винтовой модуль |
| Повторяемость (3 сигма) | X/Y: ±3 μm Z: ±5 μm |
| Точность позиционирования (3 сигма) | X/Y: ±10 μm |
| Макс. скорость | X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с |
| Макс. ускорение | X/Y: 1g Z: 0.5g |
| Визуальная система | Пиксель | 130 Вт |
| Точность идентификации | ±1 пиксель |
| Диапазон идентификации | 10*12 мм |
| Источник света | Комбинированный красный, зеленый, белый свет + дополнительное красное освещение |
| Стол с вакуумным захватом | Отклонение плоскостности | ≤30 μm |
| Отклонение температуры нагрева | ±1.5 °C |
| Повторяемость высоты подъема | ±10 μm |
| Давление вакуумного захвата | -85~-70 кПа (настраиваемое) |
| Общие условия | Габариты Ш*Г*В | 3075*2200*2200 мм (с развернутым экраном) |
| Температура рабочей среды | 23 °C ±3 °C |
| Влажность рабочей среды | 30-70% |
