|
|
| Наименование марки: | Mingseal |
| Номер модели: | СС101 |
| MOQ: | 1 |
| цена: | $28000-$150000 / pcs |
| Срок доставки: | 5-60 дней |
| Условия оплаты: | Аккредитив, безотзывный аккредитив, документы против акцепта, документы против платежа, банковский п |
| Машина для дозирования на уровне пластин SS101 | Спецификации |
|---|---|
| Диапазон применения | Конфигурация пластины | φ200±0.5мм/φ300±0.5мм (Стандартная версия поддерживает только 12 дюймов) |
| Толщина пластины | 300~25500 мкм |
| Макс. допустимый прогиб пластины | 5 мм (зависит от выбора модели захвата) |
| Макс. вес пластины | 600 г (зависит от выбора модели захвата) |
| Поддерживаемый тип коробки для пластин | 8-дюймовая открытая кассета/ 12-дюймовый FOUP (Стандартная версия поддерживает только 12 дюймов) |
| PC101 (EFEM) | Метод загрузки и выгрузки | Landport + Роботизированная рука |
| Точность предварительного выравнивания | Отклонение коррекции центра круга ≤ ±0.1 мм Отклонение коррекции угла ≤ ±0.2° |
| Считыватель пластин | Поддержка шрифтов SEMI (плоские или рельефные поверхности), нестандартных шрифтов |
| Система струйной печати | Трансмиссионная система | X/Y: Линейный двигатель Z: Серводвигатель и винтовой модуль |
| Повторяемость (3 сигма) | X/Y:±3 мкм Z:±5 мкм |
| Точность позиционирования (3 сигма) | X/Y:±10 мкм |
| Макс. скорость | X/Y:1000 мм/с Z: 500 мм/с |
| Макс. ускорение | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Визуальная система | Пиксель | 130 Вт |
| Точность идентификации | ±1 пиксель |
| Диапазон идентификации | 10*12 мм |
| Источник света | Комбинированный свет красный, зеленый, белый + дополнительное красное освещение |
| Стол с вакуумным прижимом | Отклонение плоскостности | ≤30 мкм |
| Отклонение температуры нагрева | ±1.5℃ |
| Повторяемость высоты подъема | ±10 мкм |
| Давление вакуумного прижима | -85~-70 кПа (настраиваемое) |
| Общие условия | Габариты Ш*Г*В | 3075*2200*2200 мм (с развернутым экраном) |
| Температура рабочей среды | 23℃±3℃ |
| Влажность рабочей среды | 30-70% |
