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| Markenname: | Mingseal |
| Modellnummer: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Preis: | $28000-$150000 / pcs |
| Lieferzeit: | 5 bis 60 Tage |
| Zahlungsbedingungen: | Akkreditiv, Dokumenteninkasso, Dokument gegen Zahlung, Überweisung, Western Union |
| SS101 Wafer Level Dispensing Machine | Spezifikationen |
|---|---|
| Anwendungsbereich | Wafer-Konfiguration | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Standardversion unterstützt nur 12 Zoll) |
| Wafer-Dicke | 300~25500 μm |
| Max. zulässige Wafer-Verwölbung | 5mm (abhängig von der Finger-Modellauswahl) |
| Max. Wafer-Gewicht | 600g (abhängig von der Finger-Modellauswahl) |
| Unterstützte Wafer-Box-Typen | 8-Zoll Open Cassette/ 12-Zoll Foup (Standardversion unterstützt nur 12 Zoll) |
| PC101 (EFEM) | Lade- und Entlademethode | Landport + Roboterarm |
| Präzision des Vor-Ausrichters | Abweichung der Kreismittelpunktkorrektur ≤ ±0.1 mm Abweichung der Winkelkorrektur ≤ ±0.2° |
| Wafer-Leser | Unterstützt SEMI-Schriftarten (flache oder geprägte Oberflächen), Nicht-SEMI-Schriftarten |
| Jetting-System | Übertragungssystem | X/Y: Linearmotor Z: Servomotor & Schraubenmodul |
| Wiederholgenauigkeit (3 Sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Positionierungsgenauigkeit (3 Sigma) | X/Y:±10 μm |
| Max. Geschwindigkeit | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Max. Beschleunigung | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Visuelles System | Pixel | 130W |
| Identifikationsgenauigkeit | ±1 Pixel |
| Identifikationsbereich | 10*12mm |
| Lichtquelle | Rot, Grün, Weiß kombinierte Lichter + zusätzliche rote Beleuchtung |
| Chuck-Tisch | Ebenheitsabweichung der Vakuumabsaugung | ≤30 μm |
| Heiztemperaturabweichung | ±1.5℃ |
| Wiederholgenauigkeit der Hubhöhe | ±10 μm |
| Vakuumabsaugdruck | -85~-70KPa (einstellbar) |
| Allgemeine Bedingungen | Stellfläche B*T*H | 3075*2200*2200mm (Display ausgefahren) |
| Betriebsumgebungstemperatur | 23℃±3℃ |
| Betriebsumgebungsfeuchtigkeit | 30-70% |
