|
|
| Nama merek: | Mingseal |
| Nomor Model: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Harga: | $28000-$150000 / pcs |
| Waktu Pengiriman: | 5-60 Hari |
| Ketentuan Pembayaran: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| Mesin Dispensing Tingkat Wafer SS101 | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang Aplikasi | Konfigurasi Wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Versi standar hanya mendukung 12 inci) |
| Ketebalan Wafer | 300~25500 μm |
| Warp Wafer Maks. yang Dapat Diterima | 5mm (tergantung pemilihan model Finger) |
| Berat Wafer Maks. | 600g (tergantung pemilihan model Finger) |
| Tipe Kotak Wafer yang Didukung | Kaset Terbuka 8 inci/ FOUP 12 inci (Versi standar hanya mendukung 12 inci) |
| PC101 (EFEM) | Metode Pemuatan & Pembongkaran | Landport + Lengan Robot |
| Presisi Pra-Penjajaran | Deviasi koreksi pusat lingkaran ≤ ±0.1 mm Deviasi koreksi sudut ≤ ±0.2° |
| Pembaca Wafer | Mendukung font SEMI (permukaan datar atau timbul), font non-SEMI |
| Sistem Jetting | Sistem Transmisi | X/Y: Motor linier Z: Motor servo & modul sekrup |
| Pengulangan (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Akurasi Pemosisian (3sigma) | X/Y:±10 μm |
| Kecepatan Maks. | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Akselerasi Maks. | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Sistem Visual | Piksel | 130W |
| Akurasi Identifikasi | ±1 piksel |
| Rentang Identifikasi | 10*12mm |
| Sumber Cahaya | Kombinasi cahaya Merah, Hijau, Putih + iluminasi merah tambahan |
| Meja Chuck | Deviasi Kerataan Hisapan Vakum | ≤30 μm |
| Deviasi Suhu Pemanasan | ±1.5°C |
| Pengulangan ketinggian pengangkatan | ±10 μm |
| Tekanan Hisapan Vakum | -85~-70KPa (Dapat Diatur) |
| Kondisi Umum | Jejak Kaki P* L * T | 3075*2200*2200mm (Layar tampilan terbuka) |
| Suhu Lingkungan Operasi | 23°C±3°C |
| Kelembaban Lingkungan Operasi | 30-70% |
