|
|
| Tên thương hiệu: | Mingseal |
| Số mẫu: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Giá cả: | $28000-$150000 / pcs |
| Thời gian giao hàng: | 5-60 ngày |
| Điều khoản thanh toán: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| Máy Phân Phối Keo Cấp Wafer SS101 | Thông Số |
|---|---|
| Phạm Vi Ứng Dụng | Cấu Hình Wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Phiên bản tiêu chuẩn chỉ hỗ trợ 12 inch) |
| Độ Dày Wafer | 300~25500 μm |
| Độ Cong Tối Đa Cho Phép Của Wafer | 5mm (tùy thuộc vào lựa chọn mẫu Finger) |
| Trọng Lượng Wafer Tối Đa | 600g (tùy thuộc vào lựa chọn mẫu Finger) |
| Loại Hộp Wafer Hỗ Trợ | Cassette Mở 8 inch/ Foup 12 inch (Phiên bản tiêu chuẩn chỉ hỗ trợ 12 inch) |
| PC101 (EFEM) | Phương Thức Nạp & Dỡ Hàng | Landport + Cánh Tay Robot |
| Độ Chính Xác Pre-Aligner | Độ lệch hiệu chỉnh tâm vòng tròn ≤ ±0.1 mm Độ lệch hiệu chỉnh góc ≤ ±0.2° |
| Đầu Đọc Wafer | Hỗ trợ font SEMI (bề mặt phẳng hoặc nổi), font không phải SEMI |
| Hệ Thống Phun | Hệ Thống Truyền Động | X/Y: Động cơ tuyến tính Z: Động cơ servo & mô-đun vít |
| Độ Lặp Lại (3 sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Độ Chính Xác Định Vị (3 sigma) | X/Y:±10 μm |
| Tốc Độ Tối Đa | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Gia Tốc Tối Đa | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Hệ Thống Thị Giác | Pixel | 130W |
| Độ Chính Xác Nhận Dạng | ±1 pixel |
| Phạm Vi Nhận Dạng | 10*12mm |
| Nguồn Sáng | Kết hợp đèn Đỏ, Xanh lá, Trắng + đèn chiếu sáng đỏ bổ sung |
| Bàn Gá | Độ Phẳng Hút Chân Không | ≤30 μm |
| Độ Lệch Nhiệt Độ Sưởi Ấm | ±1.5℃ |
| Độ lặp lại chiều cao nâng | ±10 μm |
| Áp Suất Hút Chân Không | -85~-70KPa (Có thể cài đặt) |
| Điều Kiện Chung | Diện Tích W* D * H | 3075*2200*2200mm (Màn hình hiển thị mở rộng) |
| Nhiệt Độ Môi Trường Hoạt Động | 23℃±3℃ |
| Độ Ẩm Môi Trường Hoạt Động | 30-70% |
