|
|
| Merknaam: | Mingseal |
| Modelnummer: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Prijs: | $28000-$150000 / pcs |
| Levertijd: | 5-60 dagen |
| Betalingsvoorwaarden: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| SS101 Wafer Level Dispensing Machine | Specificaties |
|---|---|
| Toepassingsbereik | Wafer Configuratie | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Standaardversie ondersteunt alleen 12-inch) |
| Wafer Dikte | 300~25500 μm |
| Max. Toelaatbare Wafer Warp | 5mm (afhankelijk van de selectie van het vinger model) |
| Max. Wafer Gewicht | 600g (afhankelijk van de selectie van het vinger model) |
| Ondersteund Wafer-box Type | 8-inch Open Cassette/ 12-inch Foup (Standaardversie ondersteunt alleen 12-inch) |
| PC101 (EFEM) | Laad- en Ontlaadmethode | Landport + Robotarm |
| Pre-Aligner Precisie | Afwijking cirkelcentrumcorrectie ≤ ±0.1 mm Afwijking hoekcorrectie ≤ ±0.2° |
| Wafer Lezer | Ondersteunt SEMI-lettertypen (platte of verhoogde oppervlakken), niet-SEMI-lettertypen |
| Jetting Systeem | Transmissiesysteem | X/Y: Lineaire motor Z: Servomotor & Schroefmodule |
| Herhaalbaarheid (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Positioneringsnauwkeurigheid (3sigma) | X/Y:±10 μm |
| Max. Snelheid | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Max. Acceleratie | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Visueel Systeem | Pixel | 130W |
| Identificatie Nauwkeurigheid | ±1pixel |
| Identificatie Bereik | 10*12mm |
| Lichtbron | Rood, Groen, Wit gecombineerd licht + extra rode verlichting |
| Chuck Tafel | Vacuümzuig Vlakheid Afwijking | ≤30 μm |
| Verwarmingstemperatuur Afwijking | ±1.5℃ |
| Herhaalbaarheid hefhoogte | ±10 μm |
| Vacuümzuigdruk | -85~-70KPa (Instelbaar) |
| Algemene Conditie | Voetafdruk B* D * H | 3075*2200*2200mm (Display scherm uitgevouwen) |
| Bedrijfstemperatuur Omgeving | 23℃±3℃ |
| Luchtvochtigheid Omgeving | 30-70% |
