| Επωνυμία: | Mingseal |
| Αριθμός μοντέλου: | SS101 |
| Ελάχιστη Ποσότητα Παραγγελίας: | 1 |
| τιμή: | $28000-$150000 / pcs |
| Χρόνος Παράδοσης: | 5 έως 60 ημέρες |
| Όροι πληρωμής: | Λ/Κ, Δ/Α, Δ/Π, Τ/Τ, Western Union |
| Μηχανή Διανομής σε Επίπεδο Wafer SS101 | Προδιαγραφές |
|---|---|
| Εύρος Εφαρμογής | Διαμόρφωση Wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Η τυπική έκδοση υποστηρίζει μόνο 12 ίντσες) |
| Πάχος Wafer | 300~25500 μm |
| Μέγιστη Αποδεκτή Παραμόρφωση Wafer | 5mm (ανάλογα με την επιλογή μοντέλου δακτύλου) |
| Μέγιστο Βάρος Wafer | 600g (ανάλογα με την επιλογή μοντέλου δακτύλου) |
| Υποστηριζόμενος Τύπος Κασέτας Wafer | 8-ιντσών Ανοιχτή Κασέτα/ 12-ιντσών Foup (Η τυπική έκδοση υποστηρίζει μόνο 12 ίντσες) |
| PC101 (EFEM) | Μέθοδος Φόρτωσης & Εκφόρτωσης | Landport + Ρομποτικός Βραχίονας |
| Ακρίβεια Προ-Ευθυγράμμισης | Απόκλιση διόρθωσης κέντρου κύκλου ≤ ±0.1 mm Απόκλιση διόρθωσης γωνίας ≤ ±0.2° |
| Αναγνώστης Wafer | Υποστηρίζει γραμματοσειρές SEMI (επίπεδες ή ανάγλυφες επιφάνειες), μη-SEMI γραμματοσειρές |
| Σύστημα Εκτόξευσης | Σύστημα Μετάδοσης | X/Y: Γραμμικός κινητήρας Z: Σερβοκινητήρας&Βιδωτή μονάδα |
| Επαναληψιμότητα (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Ακρίβεια Τοποθέτησης (3sigma) | X/Y:±10 μm |
| Μέγιστη Ταχύτητα | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Μέγιστη Επιτάχυνση | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Οπτικό Σύστημα | Pixel | 130W |
| Ακρίβεια Αναγνώρισης | ±1pixel |
| Εύρος Αναγνώρισης | 10*12mm |
| Πηγή Φωτός | Συνδυασμένο φως Κόκκινο, Πράσινο, Λευκό + επιπλέον κόκκινος φωτισμός |
| Τραπέζι Τσοκ | Απόκλιση Επιπεδότητας Αναρρόφησης κενού | ≤30 μm |
| Απόκλιση Θερμοκρασίας Θέρμανσης | ±1.5°C |
| Επαναληψιμότητα Ύψους Ανύψωσης | ±10 μm |
| Πίεση Αναρρόφησης Κενού | -85~-70KPa (Ρυθμιζόμενο) |
| Γενικές Συνθήκες | Αποτύπωμα Π* Β * Υ | 3075*2200*2200mm (Οθόνη ξεδιπλωμένη) |
| Θερμοκρασία Περιβάλλοντος Λειτουργίας | 23°C±3°C |
| Υγρασία Περιβάλλοντος Λειτουργίας | 30-70% |