سناریوی مشتری

یک شرکت پیشرو در زمینه بسته‌بندی در پنانگ، مالزی، به دنبال راه‌حلی قابل اعتماد و با توان عملیاتی بالا برای تولید زیرلایه بسته‌بندی Fan-Out Wafer Level Package (FOWLP) بود. این کارخانه به یک دستگاه توزیع کلاس 10 تمیز نیاز داشت که بتواند فرآیندهای کاملاً خودکار زیرلایه، پوشش‌دهی، اسپری شار و Dam & Fill را هم برای ویفرهای 8 اینچی و هم 12 اینچی اجرا کند. محدودیت‌های کلیدی شامل کنترل دقیق ذرات برای سطوح RDL در معرض دید، دقت توزیع در حد میکرون، مدیریت حرارتی دقیق برای جلوگیری از تنش در برجستگی‌ها و زیرلایه، و قابلیت ضد تاب‌خوردگی مؤثر برای حفظ صافی ویفر در حد ±3 میلی‌متر در طول پردازش بود.

راهکار Mingseal SS101 — اولین دستگاه توزیع ویفر FOWLP داخلی برای تولید انبوه

Mingseal، سیستم توزیع ویفر SS101 را به عنوان اولین سیستم توزیع ویفر تولید داخلی که برای تولید انبوه FOWLP تأیید شده است، مستقر کرد. SS101 که برای سازگاری با کلاس 10 و ادغام کامل کارخانه ساخته شده است، نیازهای کنترل فرآیند، قابلیت ردیابی و توان عملیاتی را برطرف کرد و در عین حال خطر آلودگی را برای معماری‌های حساس fan-out به حداقل رساند.

ویژگی‌های کلیدی سیستم پیاده‌سازی شده

• محفظه تمیز کلاس 10 و گردش کار خودکار: SS101 در داخل یک محفظه سازگار با اتاق تمیز کلاس 10 با بارگذاری خودکار FOUP/کاست، انتقال رباتیک ویفر، هم‌ترازی، اسکن کد و هماهنگی کامل فرآیند عمل می‌کند. عملکرد بدون نور (Lights-out) آلودگی انسانی را کاهش می‌دهد و از تولید مداوم با حجم بالا پشتیبانی می‌کند.
• ایستگاه‌های توزیع دوگانه با موقعیت‌یابی ±10 میکرومتر: دو هد توزیع GS600SWA/SWB کاربرد با دقت بالا را برای زیرلایه، پوشش‌دهی، اسپری شار و Dam & Fill فراهم می‌کنند. قابلیت تکرار موقعیت‌یابی و کنترل حرکت، قرارگیری دقیق خط توزیع را نسبت به ساختارهای ظریف RDL و برجستگی‌های در معرض دید تضمین می‌کند.
• کنترل دقیق ضد تاب‌خوردگی (±3 میلی‌متر): یک سیستم مکانیکی ضد تاب‌خوردگی و چاک خلاء، صافی ویفر را در حد ±3 میلی‌متر در طول مراحل پیش‌گرمایش، توزیع و گرمایش عملیاتی حفظ می‌کند. این امر از برخورد نازل جلوگیری کرده و ارتفاع توزیع یکنواخت را در سراسر ویفر برای جریان زیرلایه یکنواخت و جلوگیری از حفره اطمینان می‌بخشد.
• مدیریت حرارتی دقیق: ایستگاه‌های پیش‌گرمایش و دفع حرارت یکپارچه، ویفرها را در دماهای بهینه نگه می‌دارند تا ویسکوزیته چسب و جریان مویرگی را تثبیت کنند. کنترل دمای حلقه بسته، گرادیان‌های حرارتی را که می‌توانند باعث تنش در برجستگی‌ها یا تغییر دینامیک جریان در طول عملیات زیرلایه و پوشش‌دهی شوند، به حداقل می‌رساند.
• ارتباطات کارخانه تمیز و قابلیت ردیابی: SS101 از پروتکل‌های ارتباطی باز سازگار با SEMI، رابط‌های SECS/GEM و ادغام AMHS برای اتصال MES پشتیبانی می‌کند و قابلیت ردیابی کامل فرآیند، کنترل دستورالعمل و مدیریت خودکار مواد را در محیط کارخانه هوشمند پنانگ تضمین می‌کند.

کنترل فرآیند و تضمین کیفیت

نظارت در زمان واقعی: سنسورها و دوربین‌های درون سلولی، کیفیت توزیع، هندسه خط توزیع و جابجایی ویفر را در زمان واقعی نظارت می‌کنند. AOI و اندازه‌گیری در خط، نقص‌ها را زود تشخیص داده و اقدامات اصلاحی را بدون وقفه در توان عملیاتی فعال می‌کنند.
قابلیت ردیابی دستورالعمل و بچ: دستورالعمل‌های توزیع، گزارش‌های دما، تصاویر و رویدادهای تجهیزات برای حسابرسی و تولید بچ یکنواخت در چندین شیفت ذخیره و به MES صادر می‌شوند.

نتایج تولید و مزایا برای خط پنانگ

بازده بالاتر و کاهش نقص: توزیع دقیق زیرلایه، کنترل قابل اعتماد ضد تاب‌خوردگی و تنظیم حرارتی دقیق، حفره‌زایی و تنش برجستگی‌ها را کاهش داد و بازده اولین عبور برای مونتاژهای FOWLP را افزایش داد.
توان عملیاتی مقیاس‌پذیر و بدون نظارت: ایستگاه‌های توزیع دوگانه، جابجایی FOUP و انتقال رباتیک، نرخ تولید مقیاس‌پذیر را با حداقل دخالت اپراتور امکان‌پذیر می‌سازند و از اهداف حجم و هزینه کارخانه پشتیبانی می‌کنند.
ادغام یکپارچه کارخانه: رابط‌های سازگار با SEMI و آمادگی AMHS، استقرار در خطوط موجود در پنانگ را ساده کرده و زمان صلاحیت و رسیدن به حجم تولید را تسریع بخشیدند.
پشتیبانی محلی و راه‌اندازی سریع‌تر: به عنوان اولین دستگاه داخلی SS101 که برای تولید انبوه زیرلایه FOWLP استفاده می‌شود، Mingseal کمیسیونینگ سریع در محل، تنظیم دستورالعمل و خدمات مداوم را ارائه داد که چرخه‌های صلاحیت را کوتاه کرده و زمان توقف را کاهش داد.

نتیجه‌گیری

برای کارخانه‌های نیمه‌هادی مستقر در پنانگ که با تولید انبوه زیرلایه، پوشش‌دهی، اسپری شار و Dam & Fill در مقیاس FOWLP سروکار دارند، SS101 یک پلتفرم مهندسی داخلی آماده تولید ارائه می‌دهد. SS101 با سازگاری کلاس 10، کنترل ضد تاب‌خوردگی ±3 میلی‌متر، مدیریت حرارتی دقیق و ادغام سازگار با SEMI، فرآیندهای زیرلایه پایدار و قابل ردیابی را ارائه می‌دهد که بازده، قابلیت اطمینان و توان عملیاتی کارخانه را بهبود می‌بخشد. برای برنامه‌ریزی یک صلاحیت آزمایشی و تأیید عملکرد SS101 با مواد FOWLP و مجموعه ویفرهای خود با Mingseal تماس بگیرید.