Müşteri senaryosu

Malezya'nın Penang kentindeki önde gelen bir paketleme dökümhanesi, Fan-Out Wafer Level Package (FOWLP) Underfill üretimi için güvenilir, yüksek verimli bir çözüm arayışındaydı. Fabrika, hem 8 inç hem de 12 inçlik waferlar için tam otomatik dolgu altı, kaplama, akı püskürtme ve Dam & Fill işlemlerini gerçekleştirebilen bir Sınıf 10 temiz dağıtım makinesi gerektiriyordu. Temel kısıtlamalar arasında açıkta kalan RDL yüzeyleri için katı parçacık kontrolü, mikron düzeyinde dağıtım doğruluğu, tümsek ve alt tabaka gerilmesini önlemek için sıkı termal yönetim ve işlem sırasında wafer düzlüğünü ±3 mm içinde tutmak için etkili bükülme önleme özelliği yer alıyordu.

Mingseal SS101 çözümü — seri üretim için ilk yerli FOWLP wafer dağıtıcısı

Mingseal, yüksek hacimli FOWLP dolgu altı çalışmaları için doğrulanmış ilk yerli üretim wafer seviyesi dağıtım sistemi olarak SS101'i devreye aldı. Sınıf 10 uyumluluğu ve tam fab entegrasyonu için üretilen SS101, hassas fan-out mimarileri için kontaminasyon riskini en aza indirirken işlem kontrolü, izlenebilirlik ve verimlilik ihtiyaçlarını karşıladı.

Uygulanan temel sistem özellikleri

• Sınıf 10 temiz muhafaza ve otomatik iş akışı: SS101, otomatik FOUP/kaset yükleme, robotik wafer transferi, hizalama, kod tarama ve tam işlem orkestrasyonu ile Sınıf 10 temiz oda uyumlu bir muhafaza içinde çalışır. Işıksız çalışma, insan kontaminasyonunu azaltır ve sürekli yüksek hacimli üretimi destekler.
• ±10 µm konumlandırmalı çift dağıtım istasyonu: İki adet GS600SWA/SWB dağıtım kafası, dolgu altı, kaplama, akı püskürtme ve Dam & Fill için yüksek hassasiyetli uygulama sağlar. Konumlandırma tekrarlanabilirliği ve hareket kontrolü, hassas RDL yapılarına ve açıkta kalan tümseklere göre doğru boncuk yerleştirmesini sağlar.
• Sıkı bükülme önleme kontrolü (±3 mm): Mekanik bir bükülme önleyici ve vakum aynası sistemi, ön ısıtma, dağıtım ve işlem ısıtma aşamaları sırasında wafer düzlüğünü ±3 mm içinde tutar. Bu, nozül çarpışmalarını önler ve düzgün dolgu altı akışı ve boşluk oluşumunu önlemek için wafer boyunca tutarlı dağıtım yüksekliği sağlar.
• Hassas termal yönetim: Entegre ön ısıtma ve ısı dağıtma istasyonları, yapışkan viskozitesini ve kılcal akışı stabilize etmek için waferları optimize edilmiş sıcaklıklarda tutar. Kapalı döngü sıcaklık kontrolü, dolgu altı ve kaplama işlemleri sırasında tümsekleri strese sokabilecek veya akış dinamiklerini değiştirebilecek termal gradyanları en aza indirir.
• Temiz fabrika iletişimi ve izlenebilirlik: SS101, Penang'daki akıllı fabrika ortamında tam işlem izlenebilirliği, tarifname kontrolü ve otomatik malzeme taşıma sağlamak için SEMI uyumlu açık iletişim protokollerini, SECS/GEM arayüzlerini ve AMHS entegrasyonunu destekler.

İşlem kontrolleri ve kalite güvencesi

Gerçek zamanlı izleme: Hücre içi sensörler ve kameralar, dağıtım kalitesini, boncuk geometrisini ve wafer taşımasını gerçek zamanlı olarak izler. AOI ve hat içi metroloji, kusurları erken tespit eder ve verimliliği kesintiye uğratmadan düzeltici eylemleri tetikler.
Tarifname ve parti izlenebilirliği: Dağıtım tarifnameleri, sıcaklık günlükleri, görüntüler ve ekipman olayları, denetlenebilirlik ve birden fazla vardiya boyunca tutarlı parti üretimi için MES'e kaydedilir ve dışa aktarılır.

Penang hattı için üretim sonuçları ve faydaları

Daha yüksek verim ve azaltılmış kusurlar: Doğru dolgu altı birikimi, güvenilir bükülme önleme kontrolü ve sıkı termal düzenleme, boşluk oluşumunu ve tümsek gerilimini azalttı, FOWLP montajları için ilk geçiş verimini artırdı.
Ölçeklenebilir, denetimsiz verimlilik: Çift dağıtım istasyonları, FOUP taşıma ve robotik transfer, minimum operatör müdahalesiyle ölçeklenebilir üretim oranları sağlar — dökümhanenin hacim ve maliyet hedeflerini destekler.
Sorunsuz fab entegrasyonu: SEMI uyumlu arayüzler ve AMHS hazırlığı, Penang'daki mevcut hatlara dağıtımı basitleştirdi, yeterlilik ve hacme geçiş süresini hızlandırdı.
Yerel destek ve daha hızlı devreye alma: FOWLP dolgu altı seri üretimi için kullanılan ilk yerli SS101 olarak Mingseal, hızlı yerinde devreye alma, tarifname ayarlama ve devam eden hizmet sağladı — yeterlilik döngülerini kısaltarak ve kesinti süresini azaltarak.

Sonuç

Penang merkezli yarı iletken fabrikaları için FOWLP dolgu altı, kaplama, akı püskürtme ve Dam & Fill işlemlerini büyük ölçekte ele alan SS101, üretime hazır, yerli olarak tasarlanmış bir platform sunar. Sınıf 10 uyumluluğu, ±3 mm bükülme önleme kontrolü, hassas termal yönetim ve SEMI uyumlu entegrasyon ile SS101, verimi, güvenilirliği ve fab verimliliğini artıran kararlı, izlenebilir dolgu altı işlemleri sunar. Pilot yeterlilik planlamak ve SS101 performansını FOWLP malzemeleriniz ve wafer portföyünüzle doğrulamak için Mingseal ile iletişime geçin.