สถานการณ์ลูกค้า

โรงงานบรรจุภัณฑ์ชั้นนำในปีนัง ประเทศมาเลเซีย กำลังมองหาโซลูชันที่เชื่อถือได้และมีปริมาณงานสูงสำหรับการผลิตสารเติมแต่งใต้ชั้นแพ็คเกจแบบ Fan-Out Wafer Level Package (FOWLP) โรงงานต้องการเครื่องจ่ายสารแบบ Class 10 ที่สามารถทำงานแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบสำหรับการเติมสารใต้ชั้น การเคลือบ การพ่นฟลักซ์ และกระบวนการ Dam & Fill สำหรับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว ข้อจำกัดที่สำคัญ ได้แก่ การควบคุมอนุภาคอย่างเข้มงวดสำหรับพื้นผิว RDL ที่เปิดอยู่ ความแม่นยำในการจ่ายสารระดับไมครอน การจัดการความร้อนที่เข้มงวดเพื่อป้องกันความเค้นของบั้มและซับสเตรต และความสามารถในการป้องกันการบิดงอที่มีประสิทธิภาพเพื่อรักษาความเรียบของเวเฟอร์ให้อยู่ภายใน ±3 มม. ในระหว่างกระบวนการ

โซลูชัน Mingseal SS101 — เครื่องจ่ายเวเฟอร์ FOWLP ในประเทศเครื่องแรกสำหรับการผลิตจำนวนมาก

Mingseal ได้นำ SS101 มาใช้เป็นระบบจ่ายสารระดับเวเฟอร์ที่ผลิตในประเทศเครื่องแรกที่ได้รับการรับรองสำหรับการผลิตสารเติมแต่งใต้ชั้น FOWLP ปริมาณมาก SS101 สร้างขึ้นเพื่อความเข้ากันได้กับ Class 10 และการรวมระบบโรงงานเต็มรูปแบบ เพื่อตอบสนองความต้องการด้านการควบคุมกระบวนการ การติดตาม และปริมาณงาน ในขณะเดียวกันก็ลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนสำหรับสถาปัตยกรรม fan-out ที่ละเอียดอ่อน

คุณสมบัติหลักของระบบที่นำมาใช้

• ตู้ควบคุม Class 10 และเวิร์กโฟลว์อัตโนมัติ: SS101 ทำงานภายในตู้ควบคุมที่เข้ากันได้กับห้องคลีนรูม Class 10 พร้อมการโหลด FOUP/แคสเซ็ตอัตโนมัติ การถ่ายโอนเวเฟอร์ด้วยหุ่นยนต์ การจัดตำแหน่ง การสแกนโค้ด และการจัดการกระบวนการเต็มรูปแบบ การทำงานแบบ Lights-out ช่วยลดการปนเปื้อนจากมนุษย์และสนับสนุนการผลิตปริมาณมากอย่างต่อเนื่อง
• สถานีจ่ายสารคู่พร้อมการวางตำแหน่ง ±10 ไมครอน: หัวจ่ายสาร GS600SWA/SWB สองหัวให้การใช้งานที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการเติมสารใต้ชั้น การเคลือบ การพ่นฟลักซ์ และ Dam & Fill ความสามารถในการทำซ้ำของการวางตำแหน่งและการควบคุมการเคลื่อนไหวช่วยให้มั่นใจได้ถึงการวางตำแหน่งเส้นสารที่แม่นยำเมื่อเทียบกับโครงสร้าง RDL ที่ละเอียดอ่อนและบั้มที่เปิดอยู่
• การควบคุมการบิดงอที่เข้มงวด (±3 มม.): ระบบจับยึดแบบกลไกป้องกันการบิดงอและระบบสุญญากาศช่วยรักษาความเรียบของเวเฟอร์ให้อยู่ภายใน ±3 มม. ในระหว่างขั้นตอนการอุ่นเครื่อง การจ่ายสาร และการให้ความร้อนขณะทำงาน สิ่งนี้จะป้องกันการชนกันของหัวฉีดและรับประกันความสม่ำเสมอของความสูงในการจ่ายสารทั่วทั้งเวเฟอร์ เพื่อให้สารเติมแต่งใต้ชั้นไหลสม่ำเสมอและหลีกเลี่ยงฟองอากาศ
• การจัดการความร้อนที่แม่นยำ: สถานีอุ่นเครื่องและกระจายความร้อนแบบบูรณาการช่วยรักษาเวเฟอร์ที่อุณหภูมิที่เหมาะสมที่สุดเพื่อรักษาความหนืดของกาวและการไหลของเส้นเลือดฝอย การควบคุมอุณหภูมิแบบวงปิดช่วยลดความแตกต่างของอุณหภูมิที่อาจทำให้เกิดความเค้นต่อบั้มหรือเปลี่ยนแปลงพลวัตการไหลในระหว่างการดำเนินการเติมสารใต้ชั้นและการเคลือบ
• การสื่อสารโรงงานที่สะอาดและการติดตาม: SS101 รองรับโปรโตคอลการสื่อสารแบบเปิดที่เข้ากันได้กับ SEMI, อินเทอร์เฟซ SECS/GEM และการรวมระบบ AMHS สำหรับการเชื่อมต่อ MES เพื่อให้มั่นใจถึงการติดตามกระบวนการเต็มรูปแบบ การควบคุมสูตร และการจัดการวัสดุอัตโนมัติในสภาพแวดล้อมโรงงานอัจฉริยะของปีนัง

การควบคุมกระบวนการและการประกันคุณภาพ

การตรวจสอบแบบเรียลไทม์: เซ็นเซอร์และกล้องในตัวเครื่องจะตรวจสอบคุณภาพการจ่ายสาร รูปทรงของเส้นสาร และการจัดการเวเฟอร์แบบเรียลไทม์ AOI และการวัดค่าแบบอินไลน์จะตรวจจับข้อบกพร่องตั้งแต่เนิ่นๆ และกระตุ้นการดำเนินการแก้ไขโดยไม่ขัดขวางปริมาณงาน
การติดตามสูตรและล็อต: สูตรการจ่ายสาร บันทึกอุณหภูมิ รูปภาพ และเหตุการณ์ของอุปกรณ์จะถูกจัดเก็บและส่งออกไปยัง MES เพื่อการตรวจสอบและการผลิตเป็นชุดที่สม่ำเสมอในหลายกะ

ผลลัพธ์การผลิตและประโยชน์สำหรับสายการผลิตปีนัง

ผลผลิตสูงขึ้นและลดข้อบกพร่อง: การวางตำแหน่งสารเติมแต่งใต้ชั้นที่แม่นยำ การควบคุมการบิดงอที่เชื่อถือได้ และการควบคุมความร้อนที่เข้มงวด ช่วยลดฟองอากาศและความเค้นของบั้ม เพิ่มผลผลิตครั้งแรกสำหรับชุดประกอบ FOWLP
ปริมาณงานที่ปรับขนาดได้และไม่ต้องดูแล: สถานีจ่ายสารคู่ การจัดการ FOUP และการถ่ายโอนด้วยหุ่นยนต์ช่วยให้สามารถผลิตได้ในอัตราที่ปรับขนาดได้โดยมีการแทรกแซงจากผู้ควบคุมน้อยที่สุด ซึ่งสนับสนุนเป้าหมายด้านปริมาณและต้นทุนของโรงงาน
การรวมระบบโรงงานที่ราบรื่น: อินเทอร์เฟซที่เข้ากันได้กับ SEMI และความพร้อมของ AMHS ช่วยให้การติดตั้งในสายการผลิตที่มีอยู่เดิมในปีนังง่ายขึ้น เร่งการรับรองและเวลาในการผลิตจำนวนมาก
การสนับสนุนในท้องถิ่นและการเร่งการผลิต: ในฐานะที่เป็นเครื่องจักรในประเทศเครื่องแรก SS101 ที่ใช้สำหรับการผลิตสารเติมแต่งใต้ชั้น FOWLP จำนวนมาก Mingseal ได้ให้การติดตั้งนอกสถานที่อย่างรวดเร็ว การปรับสูตร และบริการต่อเนื่อง ซึ่งช่วยลดวงจรการรับรองและลดเวลาหยุดทำงาน

สรุป

สำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปีนังที่จัดการกับการเติมสารใต้ชั้น การเคลือบ การพ่นฟลักซ์ และ Dam & Fill สำหรับ FOWLP ในปริมาณมาก SS101 นำเสนอแพลตฟอร์มที่พร้อมสำหรับการผลิตและออกแบบในประเทศ ด้วยความเข้ากันได้กับ Class 10 การควบคุมการบิดงอ ±3 มม. การจัดการความร้อนที่แม่นยำ และการรวมระบบที่เข้ากันได้กับ SEMI SS101 มอบกระบวนการเติมสารใต้ชั้นที่เสถียรและติดตามได้ ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิต ความน่าเชื่อถือ และปริมาณงานของโรงงาน ติดต่อ Mingseal เพื่อกำหนดเวลาการรับรองนำร่องและตรวจสอบประสิทธิภาพของ SS101 ด้วยวัสดุ FOWLP และกลุ่มผลิตภัณฑ์เวเฟอร์ของคุณ