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SS101によるFOWLPのローカライズ生産:安定したアンダーフィル、タイトな反り制御、SEMI対応統合

SS101によるFOWLPのローカライズ生産:安定したアンダーフィル、タイトな反り制御、SEMI対応統合

2021-08-27

顧客シナリオ

マレーシアのペナンにある主要な包装鋳造工場は,ファンアウト・ウェーファーレベルパッケージ (FOWLP) のアンダーフィール生産のための信頼性のある高出力ソリューションを探していました.工場は,完全に自動化された下詰めを実行できるクラス10のクリーン配給マシンを必要としていた8インチと12インチの両方のウエフルのためのコーティング,フルックススプレーおよびダム&フィールプロセス.主要な制約は,露出したRDL表面に対する厳格な粒子制御,ミクロンレベルの配給精度,突っ込みや基板のストレスを防ぐための厳格な熱管理, 処理中にワファの平らさを ±3mm以内に維持するための効果的な反ウォープ能力.


ミングセール SS101 溶液 国内初の大量生産のためのFOWLPワッフル配給器

ミングシールは,国内で製造された最初の,高容量FOWLP下詰め回数で 検証された,SS101を導入しました.SS101 に宛てたプロセス制御繊細なファンアウトアーキテクチャの汚染リスクを最小限に抑える.


導入された主要なシステム機能

  • クラス10 クリーン・キャビネットと自動化作業流程:SS101は,自動FOUP/カセットロード,ロボット・ウェーファー転送,アライナインメント,コードスキャン,完全なプロセスオーケストレーションを備えたクラス10クリーンルーム対応の室内で動作します.灯り消し操作は人間の汚染を軽減し,継続的な大量生産をサポートします.
  • 2つの配給ステーションで ±10 μm の位置付け: 2つのGS600SWA/SWB配送頭が,低詰め,コーティング,フルックススプレーおよびダム&フィールに高精度なアプリケーションを提供します.ポジショニングの繰り返し性と動き制御は,繊細なRDL構造と露出した突起の相対的に精度の高いビーズの配置を保証します.
  • 厳格な反歪み制御 (±3mm): 機械的な反歪みおよび真空チャックシステムは,予熱,配給,動作加熱段階において,ウエフルの平坦性を ±3mm以内に維持する.これはノズルの衝突を防止し,均等な不充填流量と空隙回避のために,ウエファー全体に一貫した配給高度を確保.
  • 精密な熱管理: 統合された予熱および熱消散ステーションは,粘着粘度と毛細流量を安定させるために最適化された温度でウエフルを保持します.閉ループ温度制御は,不充填およびコーティング作業中にストレスの突起や流動動的変化を引き起こす熱グラデーションを最小限に抑える.
  • クリーンファブ通信と追跡性: SS101 は,SEMI に準拠するオープン通信プロトコル,SECS/GEM インターフェイス,MES ドッキングのためのAMHS統合をサポートし,完全なプロセス追跡性を保証します.ペナングのスマートファブ環境におけるレシピ制御と自動化された材料処理.


プロセス制御と品質保証

リアルタイム監視: 細胞内センサーとカメラがリアルタイムで配送品質,ビーズの幾何学,ウエファー処理を監視します.AOIとインライン計測は欠陥を早期に検出し,処理を中断することなく修正行動を起こす.
レシピとパートの追跡可能性: 配給レシピ,温度日記,画像,機器のイベントは,複数のシフトで監査可能性と一貫したバッチ生産のためにMESに保存され,輸出されます.


ペナンラインの生産成果と利益

より高い収穫と欠陥の減少: 精密な不充填堆積,信頼性の高い反ウォープ制御と厳格な熱調節により,排気および衝突ストレスを軽減し,FOWLP組件のためのファーストパス出力を増加します.
スケーラブルで監視されていないスループット: 2つの配給ステーション,FOUPハンドリング,ロボットによる配送により,最小限の操作者の介入でスケーラブルな生産率が実現され,鋳造所の量とコスト目標が支えられる.
縫い目のないファブ統合: SEMI対応のインターフェースとAMHS準備はペナンにある既存のラインへの導入を簡素化し,資格化と量化時間を加速します.
地元支援とより速いランプ国内初のSS101FOWLPの大量生産に使用された Mingsealは,迅速な現場運用,レシピ調整,継続的なサービスを提供し,資格のサイクルを短縮し,ダウンタイムを短縮しました.


結論

ペナンに本拠を置く半導体工場では,FOWLPの不充填,コーティング,フルックススプレー,Dam&Fillをスケールで扱うため,SS101は国内で設計された生産に備えたプラットフォームを提供しています.クラス10の適合性, ±3mm アンチ・ウォープ制御,精密な熱管理,SEMI対応の統合,SS101は,生産量,信頼性,ファブスループットを改善する安定した,追跡可能なアンダーフィールプロセスを提供します.ミングシールに連絡して パイロット資格のスケジュールを設定し,あなたのFOWLP材料とウエファーポートフォリオで SS101のパフォーマンスを検証してください.