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Producción FOWLP Localizada con SS101: Relleno Estable, Control Estricto de Deformación, Integración Lista para SEMI

Producción FOWLP Localizada con SS101: Relleno Estable, Control Estricto de Deformación, Integración Lista para SEMI

2021-08-27

Escenario del cliente

Una fundición de empaquetado líder en Penang, Malasia, buscaba una solución confiable y de alto rendimiento para la producción de encapsulado de obleas Fan-Out (FOWLP) con material de relleno. La fábrica requería una máquina de dispensación limpia Clase 10 que pudiera realizar procesos totalmente automatizados de relleno, recubrimiento, pulverización de fundente y Dam & Fill para obleas de 8 y 12 pulgadas. Las restricciones clave incluían un estricto control de partículas para las superficies RDL expuestas, precisión de dispensación a nivel de micras, gestión térmica estricta para prevenir el estrés en los bumps y el sustrato, y una capacidad efectiva anti-deformación para mantener la planitud de la oblea dentro de ±3 mm durante el procesamiento.


Solución Mingseal SS101 — el primer dispensador de obleas FOWLP doméstico para producción en masa

Mingseal desplegó el SS101 como el primer sistema de dispensación a nivel de oblea de producción nacional validado para ejecuciones de relleno FOWLP de alto volumen. Construido para compatibilidad Clase 10 e integración completa de fábrica, el SS101 abordó las necesidades de control de procesos, trazabilidad y rendimiento, al tiempo que minimizaba el riesgo de contaminación para arquitecturas fan-out sensibles.


Características clave del sistema implementadas

  • Carcasa limpia Clase 10 y flujo de trabajo automatizado: El SS101 opera dentro de una carcasa compatible con sala limpia Clase 10 con carga automatizada de FOUP/cassette, transferencia robótica de obleas, alineación, escaneo de códigos y orquestación completa del proceso. La operación "lights-out" reduce la contaminación humana y soporta la producción continua de alto volumen.
  • Estaciones de dispensación duales con posicionamiento de ±10 µm: Dos cabezales de dispensación GS600SWA/SWB proporcionan una aplicación de alta precisión para relleno, recubrimiento, pulverización de fundente y Dam & Fill. La repetibilidad de posicionamiento y el control de movimiento garantizan una colocación precisa del cordón en relación con las delicadas estructuras RDL y los bumps expuestos.
  • Control estricto anti-deformación (±3 mm): Un sistema mecánico anti-deformación y de vacío mantiene la planitud de la oblea dentro de ±3 mm durante las etapas de precalentamiento, dispensación y calentamiento operativo. Esto previene colisiones de boquillas y asegura una altura de dispensación consistente en toda la oblea para un flujo de relleno uniforme y evitar vacíos.
  • Gestión térmica precisa: Las estaciones integradas de precalentamiento y disipación de calor mantienen las obleas a temperaturas optimizadas para estabilizar la viscosidad del adhesivo y el flujo capilar. El control de temperatura en circuito cerrado minimiza los gradientes térmicos que podrían estresar los bumps o alterar la dinámica de flujo durante las operaciones de relleno y recubrimiento.
  • Comunicación limpia de fábrica y trazabilidad: El SS101 soporta protocolos de comunicación abiertos compatibles con SEMI, interfaces SECS/GEM e integración AMHS para acoplamiento MES, asegurando una trazabilidad completa del proceso, control de recetas y manejo automatizado de materiales en el entorno de fábrica inteligente de Penang.


Controles de proceso y garantía de calidad

Monitorización en tiempo real: Sensores y cámaras en la celda monitorizan la calidad de la dispensación, la geometría del cordón y el manejo de la oblea en tiempo real. La inspección óptica automatizada (AOI) y la metrología en línea detectan defectos tempranamente y activan acciones correctivas sin interrumpir el rendimiento.
Trazabilidad de recetas y lotes: Las recetas de dispensación, los registros de temperatura, las imágenes y los eventos del equipo se almacenan y exportan a MES para auditoría y producción consistente de lotes en múltiples turnos.


Resultados de producción y beneficios para la línea de Penang

Mayor rendimiento y reducción de defectos: La deposición precisa del relleno, el control confiable anti-deformación y la regulación térmica estricta redujeron los vacíos y el estrés de los bumps, aumentando el rendimiento de primer paso para los ensamblajes FOWLP.
Rendimiento escalable y desatendido: Las estaciones de dispensación duales, el manejo de FOUP y la transferencia robótica permiten tasas de producción escalables con mínima intervención del operador, apoyando los objetivos de volumen y costo de la fundición.
Integración perfecta de fábrica: Las interfaces compatibles con SEMI y la preparación para AMHS simplificaron la implementación en las líneas existentes en Penang, acelerando la calificación y el tiempo hasta el volumen.
Soporte local y rampa más rápida: Como el primer SS101 doméstico utilizado para la producción en masa de relleno FOWLP, Mingseal proporcionó una rápida puesta en marcha in situ, ajuste de recetas y servicio continuo, acortando los ciclos de calificación y reduciendo el tiempo de inactividad.Conclusión Para las fábricas de semiconductores con sede en Penang que abordan el relleno, recubrimiento, pulverización de fundente y Dam & Fill FOWLP a escala, el SS101 ofrece una plataforma de ingeniería nacional lista para la producción. Con compatibilidad Clase 10, control anti-deformación de ±3 mm, gestión térmica precisa e integración compatible con SEMI, el SS101 ofrece procesos de relleno estables y trazables que mejoran el rendimiento, la confiabilidad y el rendimiento de la fábrica. Póngase en contacto con Mingseal para programar una calificación piloto y validar el rendimiento del SS101 con sus materiales FOWLP y su cartera de obleas.