ग्राहक परिदृश्य

मलेशिया के पेनांग में एक प्रमुख पैकेजिंग फाउंड्री ने फैन-आउट वेफर लेवल पैकेज (FOWLP) अंडरफिल उत्पादन के लिए एक विश्वसनीय, उच्च-थ्रूपुट समाधान की मांग की। फैब को 8-इंच और 12-इंच दोनों वेफर्स के लिए पूरी तरह से स्वचालित अंडरफिल, कोटिंग, फ्लक्स स्प्रे और डैम और फिल प्रक्रियाओं को चलाने में सक्षम क्लास 10 क्लीन डिस्पेंसिंग मशीन की आवश्यकता थी। प्रमुख बाधाओं में उजागर आरडीएल सतहों के लिए सख्त कण नियंत्रण, माइक्रोन-स्तरीय डिस्पेंस सटीकता, बम्प और सब्सट्रेट तनाव को रोकने के लिए तंग थर्मल प्रबंधन, और प्रसंस्करण के दौरान वेफर की सपाटता को ±3 मिमी के भीतर बनाए रखने के लिए प्रभावी एंटी-वॉरप क्षमता शामिल थी।

मिंगसील SS101 समाधान — बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए पहला घरेलू FOWLP वेफर डिस्पेंसर

मिंगसील ने SS101 को उच्च-मात्रा FOWLP अंडरफिल रन के लिए मान्य पहले घरेलू स्तर पर उत्पादित वेफर-स्तरीय डिस्पेंसिंग सिस्टम के रूप में तैनात किया। क्लास 10 संगतता और पूर्ण फैब एकीकरण के लिए निर्मित, SS101 ने संवेदनशील फैन-आउट आर्किटेक्चर के लिए संदूषण जोखिम को कम करते हुए प्रक्रिया नियंत्रण, पता लगाने की क्षमता और थ्रूपुट की जरूरतों को पूरा किया।

लागू की गई प्रमुख सिस्टम विशेषताएं

• क्लास 10 क्लीन एन्क्लोजर और स्वचालित वर्कफ़्लो: SS101 स्वचालित FOUP/कैसट लोडिंग, रोबोटिक वेफर ट्रांसफर, अलाइनमेंट, कोड स्कैनिंग और पूर्ण प्रक्रिया ऑर्केस्ट्रेशन के साथ क्लास 10 क्लीनरूम-संगत एन्क्लोजर के अंदर संचालित होता है। लाइट्स-आउट ऑपरेशन मानव संदूषण को कम करता है और निरंतर उच्च-मात्रा उत्पादन का समर्थन करता है।
• ±10 माइक्रोन पोजिशनिंग के साथ डुअल डिस्पेंसिंग स्टेशन: दो GS600SWA/SWB डिस्पेंसिंग हेड अंडरफिल, कोटिंग, फ्लक्स स्प्रे और डैम और फिल के लिए उच्च-सटीकता अनुप्रयोग प्रदान करते हैं। पोजिशनिंग दोहराव और गति नियंत्रण नाजुक आरडीएल संरचनाओं और उजागर बम्प्स के सापेक्ष सटीक बीड प्लेसमेंट सुनिश्चित करते हैं।
• तंग एंटी-वॉरप नियंत्रण (±3 मिमी): एक यांत्रिक एंटी-वॉरप और वैक्यूम चक सिस्टम प्रीहीट, डिस्पेंस और ऑपरेशन हीटिंग चरणों के दौरान वेफर प्लानरिटी को ±3 मिमी के भीतर बनाए रखता है। यह नोजल क्रैश को रोकता है और समान अंडरफिल प्रवाह और शून्य से बचाव के लिए पूरे वेफर में लगातार डिस्पेंस ऊंचाई सुनिश्चित करता है।
• सटीक थर्मल प्रबंधन: एकीकृत प्रीहीटिंग और हीट डिसिपेशन स्टेशन चिपकने वाली चिपचिपाहट और केशिका प्रवाह को स्थिर करने के लिए वेफर्स को अनुकूलित तापमान पर रखते हैं। क्लोज्ड-लूप तापमान नियंत्रण थर्मल ग्रेडिएंट्स को कम करता है जो बम्प्स पर तनाव डाल सकते हैं या अंडरफिल और कोटिंग संचालन के दौरान प्रवाह की गतिशीलता को बदल सकते हैं।
• क्लीन फैब संचार और पता लगाने की क्षमता: SS101 SEMI-अनुरूप ओपन कम्युनिकेशन प्रोटोकॉल, SECS/GEM इंटरफेस और MES डॉकिंग के लिए AMHS एकीकरण का समर्थन करता है, जो पेनांग के स्मार्ट फैब वातावरण में पूर्ण प्रक्रिया पता लगाने की क्षमता, रेसिपी नियंत्रण और स्वचालित सामग्री प्रबंधन सुनिश्चित करता है।

प्रक्रिया नियंत्रण और गुणवत्ता आश्वासन

वास्तविक समय की निगरानी: इन-सेल सेंसर और कैमरे वास्तविक समय में डिस्पेंस गुणवत्ता, बीड ज्यामिति और वेफर हैंडलिंग की निगरानी करते हैं। AOI और इनलाइन मेट्रोलॉजी दोषों का जल्दी पता लगाती है और थ्रूपुट को बाधित किए बिना सुधारात्मक कार्रवाई शुरू करती है।
रेसिपी और लॉट पता लगाने की क्षमता: डिस्पेंस रेसिपी, तापमान लॉग, चित्र और उपकरण ईवेंट ऑडिटेबिलिटी और कई शिफ्टों में लगातार बैच उत्पादन के लिए MES में संग्रहीत और निर्यात किए जाते हैं।

पेनांग लाइन के लिए उत्पादन परिणाम और लाभ

उच्च उपज और कम दोष: सटीक अंडरफिल जमाव, विश्वसनीय एंटी-वॉरप नियंत्रण और तंग थर्मल विनियमन ने शून्य और बम्प तनाव को कम किया, जिससे FOWLP असेंबली के लिए फर्स्ट-पास यील्ड में वृद्धि हुई।
स्केलेबल, बिना निगरानी वाला थ्रूपुट: डुअल डिस्पेंसिंग स्टेशन, FOUP हैंडलिंग और रोबोटिक ट्रांसफर न्यूनतम ऑपरेटर हस्तक्षेप के साथ स्केलेबल उत्पादन दर को सक्षम करते हैं - फाउंड्री की मात्रा और लागत लक्ष्यों का समर्थन करते हैं।
निर्बाध फैब एकीकरण: SEMI-अनुरूप इंटरफेस और AMHS तत्परता ने पेनांग में मौजूदा लाइनों में परिनियोजन को सरल बनाया, योग्यता और समय-से-मात्रा को तेज किया।
स्थानीय समर्थन और तेज रैंप: FOWLP अंडरफिल बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए उपयोग किए जाने वाले पहले घरेलू SS101 के रूप में, मिंगसील ने तेजी से ऑन-साइट कमीशनिंग, रेसिपी ट्यूनिंग और चल रही सेवा प्रदान की - योग्यता चक्रों को छोटा किया और डाउनटाइम को कम किया।

निष्कर्ष

पेनांग-आधारित सेमीकंडक्टर फैब के लिए जो बड़े पैमाने पर FOWLP अंडरफिल, कोटिंग, फ्लक्स स्प्रे और डैम और फिल से निपट रहे हैं, SS101 एक उत्पादन-तैयार, घरेलू स्तर पर इंजीनियर प्लेटफॉर्म प्रदान करता है। क्लास 10 संगतता, ±3 मिमी एंटी-वॉरप नियंत्रण, सटीक थर्मल प्रबंधन और SEMI-अनुरूप एकीकरण के साथ, SS101 स्थिर, पता लगाने योग्य अंडरफिल प्रक्रियाएं प्रदान करता है जो उपज, विश्वसनीयता और फैब थ्रूपुट में सुधार करती हैं। अपने FOWLP सामग्री और वेफर पोर्टफोलियो के साथ SS101 प्रदर्शन को मान्य करने और पायलट योग्यता शेड्यूल करने के लिए मिंगसील से संपर्क करें।