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SS101により、ペナン半導体ライン向け初の国内大量FoWLPアンダーフィル生産が可能に

SS101により、ペナン半導体ライン向け初の国内大量FoWLPアンダーフィル生産が可能に

2025-05-05

問題

マレーシアのペナンにある半導体組立工場は,ファンアウト・ウェーファーレベルパッケージング (FoWLP) を試作から量産に移行する能力と生産能力の課題に直面しました.痛みのポイントは 8 ′′12 "のホイールで不一致な不充填を配分すること海外の配送システムに対する高コスト/配送時間.顧客は,充填不足のために信頼性のある高出力配送ソリューションを必要としていました.コーティング,フルックススプレーとダム&フィールプロセスは,自動車および消費者の信頼性の目標を達成しながら,ウェーファースケールの変動に対応することができます.


原因

FoWLPの不充填と関連するプロセスは,大きなワッフル領域で精密な体積計配分を必要とします.伝統的なベンチトップ配送機には,流量がないので,ワッフルレベルの大量生産に必要な曲面補償とプロセス重複性不一致なビーズプロファイルと空白は,ノズルの制御が不十分で,ウエファー弓 (ウォーページ) の補償が不十分で,ウエファーの継続的な処理のために設計されていないシステムから生じる.ターンキーのシステムを輸入することで,長時間配達と地元のエンジニアのサポートが複雑になりました..


解決策

SS101 国内で生産された最初の FoWLPの大量生産に特化した配給プラットフォームです.ペナン線に適用される主要能力:

  • ワイファー互換性:ハードウェアの変更なしで8インチと12インチの両方のワイファーをサポートし,混合ライン生産と将来の容量拡大を可能にします.
  • 曲面補償: ±3mmの曲面処理によるアクティブピック・アンド・プレイスステージは,弓形ウエフルの間での一貫したノズル対表面距離を保証し,ノズル衝突と変動するビーズ幾何学を防ぐ.
  • 多プロセスのサポート:アンダーフィール,コーティング,フルックススプレー,ダム&フィール用の構成可能なモジュールは,同じセルで連続的なプロセスステップを実行したり,クラスタ化されたラインに統合することを可能にします.
  • 高精度体積制御: サーボ駆動のスクリューと高度な運動制御は,空隙のない下詰めに適した重複可能なビーズプロファイルと体積精度を提供します.
  • 国内サービスと迅速なスペアパーツ:現地製造は,スペアパーツの配送時間を短縮し,現地アプリケーションエンジニアによる迅速な現場調整をサポートします.


統合とプロセス実施

SS101ユニットは,自動化ウエーファーローダーとインラインプレバーキンのクラスタに設置された. システムでは,シンクロ化された配給ロボットプロファイルを使用した.ノジルのスタート/ストップポイントとZ補償は,ウエファーマップごとにプログラムされました流体噴射とコーティングモジュールは,レシピ制御の噴射パターンと流量率で構成されました.ダム&フィールシーケンスでは,コンテナダムと完全な散装填料を形成するために2つの経路の配給頭を使用しますシステムコントローラでは,中央集権されたレシピ管理と追跡可能性を提供し,各ボート用の配給量,ノズル温度,圧力を記録しました.


結果 と 益

  • 生産性の向上: 精密なZ補償と体積制御により,不充填の減少が70%以上減少し,後の試験で熱疲労の信頼性が向上します.
  • 流量増加:SS101のウエファーレベルの連続配給は,ウエファー毎のサイクル時間を,ダイレベル配給と比較して短縮し,オペレーターを追加することなく,より高いライン容量を可能にしました.
  • 低コスト・より速いサポート:現地製造は資本の配送時間を短縮し,スペアパーツの交換時間を数週間から数日に短縮し,設備の稼働時間を増加させる.
  • プロセスの柔軟性: 1 つのプラットフォームで下詰め,コーティング,フルックススプレーおよびダム&フィールを行うことで,ラインレイアウトを簡素化し,統合コストを削減します.
  • 曲面への耐久性: ±3mmの曲面処理は,曲面ウエファを事前分類する必要性をなくし,上流処理ステップを省きます.


マレーシアのFOWLP線に関する勧告

  • 代表的な弓のプロファイルと材料を介して初期ウエファー資格を実行して Z-補償マップを微調整します.
  • 線内X線検査や音響検査を施し,空白削減を検証し,プロセスループを閉じる.
  • 8インチから12インチまでの切り替えを速めるために,ウエファーサイズと材料ファミリーのレシピを標準化します.
  • 予防的なメンテナンススケジュールと迅速なノズルの交換のための地元のサポートを活用する.


結論

ペナンに本拠を置く FoWLP 製造業者向けに SS101 は国内で生産された高精度ソリューションで,流量と運用性の課題. ワッファーレベルの処理, ±3mmの曲面補償とマルチプロセスの柔軟性を組み合わせることで,SS101は信頼性があり,スケーラブルなFoWLP欠填を可能にします.塗装とダム&フィール生産 欠陥を軽減し,市場投入時間を短縮するミングセールの地域チームに連絡して 試行展開と プロセス資格を 組み立て合わせます