समस्या

मलेशिया के पेनांग में स्थित एक अर्धचालक असेंबली हाउस को क्षमता और उपज की चुनौतियों का सामना करना पड़ा।मुख्य दर्द बिंदुओं में 8 ′′12 "वॉफर्स में असंगत अंडरफिलिंग डिस्पेंसिंग शामिल थी, सीमित उपकरण, जो वेफर warpage से निपटने में सक्षम है, और विदेशी वितरण प्रणालियों के लिए उच्च लागत/लीड समय। ग्राहक को अंडरफिल के लिए एक विश्वसनीय, उच्च-प्रभावी वितरण समाधान की आवश्यकता थी,कोटिंग, फ्लक्स स्प्रे और डैम एंड फिल प्रक्रियाएं जो ऑटोमोटिव और उपभोक्ता विश्वसनीयता लक्ष्यों को पूरा करते हुए वेफर-स्केल परिवर्तनशीलता को संभाल सकती हैं।

कारण

एफओडब्ल्यूएलपी अंडरफिल और संबंधित प्रक्रियाओं के लिए बड़े क्षेत्र पर सटीक आयतनिक वितरण की आवश्यकता होती है। पारंपरिक बेंचटॉप डिस्पेंसर में थ्रूपुट की कमी होती है,वेफर स्तर के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए आवश्यक warpage क्षतिपूर्ति और प्रक्रिया दोहरावअसंगत बीड प्रोफाइल और खोखलेपन खराब नोजल नियंत्रण, वेफर धनुष (warpage) के लिए अपर्याप्त मुआवजे और निरंतर वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन नहीं की गई प्रणालियों से उत्पन्न होते हैं।टर्नकी सिस्टम आयात करने से स्थानीय इंजीनियरों के लिए लंबे समय तक समय और समर्थन जटिलता बढ़ी.

समाधान

SS101 ️ पहला घरेलू उत्पादन डिस्पेंसर प्लेटफॉर्म जो विशेष रूप से FoWLP अंडरफिल के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए प्रमाणित है।पेनांग लाइन के लिए लागू प्रमुख क्षमताएं:

• वेफर संगतताः हार्डवेयर परिवर्तन के बिना 8 "और 12" दोनों वेफर्स का समर्थन करता है, जो मिश्रित-लाइन उत्पादन और भविष्य की क्षमता स्केलिंग को सक्षम करता है।
• Warpage मुआवजाः ±3 मिमी warpage हैंडलिंग के साथ सक्रिय पिक-एंड-प्लेस स्टेज घुमावदार वेफर्स में नोजल-से-सतह की निरंतर दूरी सुनिश्चित करता है, नोजल दुर्घटनाओं और चर मोती ज्यामिति को रोकता है।
• मल्टी-प्रोसेस सपोर्टः अंडरफिल, कोटिंग, फ्लक्स स्प्रे और डैम एंड फिल के लिए कॉन्फ़िगर करने योग्य मॉड्यूल एक ही सेल को क्रमिक प्रक्रिया चरणों को करने या एक क्लस्टर लाइन में एकीकृत करने की अनुमति देते हैं।
• उच्च परिशुद्धता वाले वॉल्यूमेट्रिक नियंत्रणः सर्वो-ड्राइव स्क्रू और उन्नत गति नियंत्रण दोहराए जाने योग्य बीड प्रोफाइल और वैक्यूम-मुक्त अंडरफिल भरने के लिए उपयुक्त वॉल्यूमेट्रिक सटीकता प्रदान करते हैं।
• घरेलू सेवा और तेजी से स्पेयर पार्ट्सः स्थानीय विनिर्माण स्पेयर पार्ट्स के लिए नेतृत्व समय को कम करता है और स्थानीय अनुप्रयोग इंजीनियरों के साथ तेजी से साइट ट्यूनिंग का समर्थन करता है।

एकीकरण और प्रक्रिया कार्यान्वयन

SS101 इकाइयों को स्वचालित वेफर लोडर और इनलाइन प्री-बेक ओवन के साथ एक क्लस्टर में स्थापित किया गया था।नोजल स्टार्ट/स्टॉप प्वाइंट और Z-मुआवजा को वेफर मैप के अनुसार प्रोग्राम किया गया थाफ्लक्स स्प्रे और कोटिंग मॉड्यूल को रेसिपी-नियंत्रित स्प्रे पैटर्न और प्रवाह दरों के साथ कॉन्फ़िगर किया गया था।बांध और भरने के अनुक्रमों में प्रतिबन्ध बांध और पूर्ण थोक भरने के लिए दो-पथ वितरण प्रमुखों का उपयोग किया जाता हैप्रणाली नियंत्रक ने प्रत्येक वेफर लोट के लिए केंद्रीकृत नुस्खा प्रबंधन और ट्रेस करने योग्यता, वितरण द्रव्यमान, नोजल तापमान और दबाव लॉगिंग प्रदान की।

परिणाम और लाभ

• उपज में सुधारः सटीक Z-मुआवजा और वॉल्यूमेट्रिक नियंत्रण के कारण 70% से अधिक कम भरने में खाली होने की घटना, बाद के परीक्षणों में थर्मल थकान विश्वसनीयता में सुधार।
• थ्रूपुट में वृद्धिः SS101 की वेफर-स्तर की निरंतर डिस्पेंसरिंग ने वेफर प्रति चक्र समय को कम कर दिया, जिससे ऑपरेटरों को जोड़ने के बिना लाइन की क्षमता बढ़ी।
• कम टीसीओ और तेज़ समर्थनः स्थानीय विनिर्माण ने पूंजी के नेतृत्व समय को कम कर दिया और स्पेयर पार्ट्स के प्रतिस्थापन का समय हफ्तों से घटाकर दिनों में कर दिया, जिससे उपकरण का अपटाइम बढ़ गया।
• प्रक्रिया लचीलापनः एक एकल प्लेटफॉर्म जो अंडरफिल, कोटिंग, फ्लोक्स स्प्रे और डैम एंड फिल का प्रदर्शन करता है, लाइन लेआउट को सरल बनाता है और एकीकरण लागत को कम करता है।
• वक्रता के लिए मजबूतीः ±3 मिमी वक्रता के हैंडलिंग ने झुकाव वाले वेफर्स को पूर्व-समायोजित करने की आवश्यकता को हटा दिया, अपस्ट्रीम हैंडलिंग चरणों को बचाया।

मलेशियाई FoWLP लाइनों के लिए सिफारिशें

• Z-मुआवजे के नक्शे को ठीक करने के लिए प्रतिनिधि धनुष प्रोफाइल और सामग्री पर प्रारंभिक वेफर योग्यता चलाएं।
• खालीपन को कम करने और प्रक्रिया लूप को बंद करने के लिए अंडरफिलिंग के बाद इनलाइन एक्स-रे या ध्वनिक निरीक्षण का उपयोग करें।
• 8 "और 12" रन के बीच तेजी से बदलाव करने के लिए वेफर आकार और सामग्री परिवारों के लिए नुस्खे मानकीकृत करें।
• निवारक रखरखाव कार्यक्रमों और तेजी से नोजल प्रतिस्थापन के लिए स्थानीय समर्थन का लाभ उठाना।

निष्कर्ष

पेनांग स्थित एफओडब्ल्यूएलपी निर्माताओं के लिए, जो वॉल्यूम अंडरफिल उत्पादन पर आगे बढ़ रहे हैं, एसएस101 एक घरेलू रूप से निर्मित, उच्च परिशुद्धता समाधान प्रदान करता है जो warpage को संबोधित करता है,परिपक्वता और परिचालन क्षमता की चुनौतियां. वेफर-स्तरीय हैंडलिंग, ±3 मिमी warpage मुआवजे और बहु-प्रक्रिया लचीलापन को जोड़कर, SS101 विश्वसनीय, स्केलेबल FoWLP अंडरफिल को सक्षम करता है,कोटिंग और डैम एंड फिल उत्पादन ️ दोषों को कम करना और बाजार में समय को छोटा करना. अपनी असेंबली के अनुरूप एक पायलट तैनाती और प्रक्रिया योग्यता के लिए मिंगसील की क्षेत्रीय टीम से संपर्क करें।