Поскольку мировая промышленность полупроводников переходит к интеграции с высокой плотностью, Тайвань продолжает лидировать с технологиями 2.5D и 3D IC.От высокопроизводительных вычислений до ускорителей ИИ и передовых графических процессоров, эти архитектуры требуют тонких соединений и минимальных высот отстоя, что предъявляет крайние требования к качеству заполнения.
Традиционные решения часто испытывают проблемы с небольшими выступами, узкими местами и узкими зонами отчуждения.но также создает тепловое напряжение, которое может сократить срок службы устройстваДля решения этих задач диспенсирующие машины на уровне пластинки, такие как диспенсирующая машина на уровне пластинки SS101 Mingseal, обеспечивают точность и стабильность, необходимые для надежной упаковки 2.5D / 3D IC.
В 2,5D и 3D архитектурах чипы накладываются на кремниевые интерпозеры или непосредственно связываются, оставляя крошечные пробелы, которые должны быть заполнены поднаполнительной смолой.или переполнение могут поставить под угрозу электрические характеристики и механическую прочность.
Однородное недонаполнение имеет решающее значение, потому что оно:
Машина для распределения на уровне пластинок SS101 решает эти проблемы с помощью передовых функций, предназначенных для 2.5D и 3D IC.
1. Контроль точности для небольших выступов и узкого толчка
SS101 предназначен для сверхнебольших размеров и низкой высоты, обеспечивая постоянный поток смолы, который устраняет пустоты и воздушные пробелы.Его специальная система поднаполнительных клапанов предотвращает засорение и образование пузырей, распространенная проблема в упаковках с высокой плотностью.
2. Стабильное тепловое управление
Тепловые колебания при недостаточном заполнении могут привести к сокращению смолы или неравномерному потоку.SS101интегрирует предварительное нагревание, равномерное нагревание стола и автоматическую коррекцию температуры, обеспечивая постоянную вязкость смолы и равномерный капиллярный поток по всей пластине.
3. Программируемые пути распределения для сложных макетов
2.5D и 3D IC упаковки часто включают нерегулярные макеты пластин и различные глубины заполнения.повышение эффективности при сокращении отходов.
4Мониторинг и калибровка процессов в режиме реального времени
Чтобы соответствовать строгим стандартам передовой упаковки полупроводников, SS101 интегрирует калибровку веса клея в режиме реального времени и видеомониторинг.полная прослеживаемость процесса, и немедленное обнаружение неисправностей, минимизируя время простоя производства.
5. ESD защита для чувствительных пластин
С передовыми IC-стаками, часто включающими чувствительные графические процессоры, процессоры или облачки ASIC, события ESD могут привести к дорогостоящим сбоям.защиту пластин во время процесса подачи.
SS101 уже применяется на ведущих передовых упаковочных заводах Тайваня, поддерживая такие процессы, как:
Поскольку 2.5D и 3D IC сборки становятся центральными для полупроводниковой упаковки следующего поколения, потребность в однородных, точных поднаполнения распределения больше, чем когда-либо.как мировой лидер в передовой упаковке, требует оборудования, которое обеспечивает как точность, так и стабильность в масштабе пластины.
Машина SS101 для распределения на уровне вафли удовлетворяет этим требованиям, обеспечивая специальное управление клапаном заполнения, стабильное тепловое управление, программируемые пути распределения и мониторинг в режиме реального времени.Для заводов полупроводников, стремящихся улучшить урожайность, обеспечить надежность и масштабное производство передовых IC-стаков, технология распределения на уровне пластинок больше не является необязательной, а необходимой.