|
|
| نام تجاری: | Mingseal |
| شماره مدل: | SS101 |
| مقدار تولیدی: | 1 |
| قیمت: | $28000-$150000 / pcs |
| زمان تحویل: | 5-60 روز |
| شرایط پرداخت: | L/C، D/A، D/P، T/T، وسترن یونیون |
| دستگاه توزیع در سطح ویفر SS101 | مشخصات |
|---|---|
| محدوده کاربرد | پیکربندی ویفر | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (نسخه استاندارد فقط از 12 اینچ پشتیبانی می کند) |
| ضخامت ویفر | 300~25500 μm |
| حداکثر تاب ویفر قابل قبول | 5 میلی متر (بسته به انتخاب مدل انگشت) |
| حداکثر وزن ویفر | 600 گرم (بسته به انتخاب مدل انگشت) |
| نوع جعبه ویفر پشتیبانی شده | کاست باز 8 اینچی / Foup 12 اینچی (نسخه استاندارد فقط از 12 اینچ پشتیبانی می کند) |
| PC101 (EFEM) | روش بارگیری و تخلیه | Landport + بازوی رباتیک |
| دقت پیش تنظیم کننده | انحراف تصحیح مرکز دایره ≤ ±0.1 میلی متر انحراف تصحیح زاویه ≤ ±0.2° |
| خواننده ویفر | پشتیبانی از فونت های SEMI (سطوح صاف یا برجسته)، فونت های غیر SEMI |
| سیستم جتینگ | سیستم انتقال | X/Y: موتور خطی Z: موتور سروو و ماژول پیچ |
| تکرارپذیری (3 سیگما) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| دقت موقعیت یابی (3 سیگما) | X/Y:±10 μm |
| حداکثر سرعت | X/Y: 1000 میلی متر بر ثانیه Z: 500 میلی متر بر ثانیه |
| حداکثر شتاب | X/Y: 1g Z: 0.5g |
| سیستم بصری | پیکسل | 130W |
| دقت شناسایی | ±1 پیکسل |
| محدوده شناسایی | 10*12 میلی متر |
| منبع نور | نور ترکیبی قرمز، سبز، سفید + نور اضافی قرمز |
| میز چاک | انحراف صافی مکش خلاء | ≤30 μm |
| انحراف دمای گرمایش | ±1.5℃ |
| تکرارپذیری ارتفاع بالابر | ±10 μm |
| فشار مکش خلاء | -85~-70KPa (قابل تنظیم) |
| شرایط عمومی | رد پا W* D * H | 3075*2200*2200 میلی متر (صفحه نمایش باز می شود) |
| دمای محیط عملیات | 23℃±3℃ |
| رطوبت محیط عملیات | 30-70% |
