|
|
| Merknaam: | Mingseal |
| Modelnummer: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Prijs: | $28000-$150000 / pcs |
| Levertijd: | 5-60 dagen |
| Betalingsvoorwaarden: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| SS101 Wafer level dispensing machine | Specificaties |
|---|---|
| Toepassingsbereik Wafer Configuratie | φ200±0,5 mm/φ300±0,5 mm (Standaardversie ondersteunt alleen 12-inch) |
| Waferdikte | 300 tot 25500 μm |
| Max. aanvaardbare wafer warp | 5 mm (afhankelijk van de keuze van het model Finger) |
| Max. Wafergewicht | 600 g (afhankelijk van de keuze van het model Finger) |
| Ondersteund type waferdoos | 8-inch Open Cassette/ 12-inch Foup (Standard versie ondersteunt alleen 12-inch) |
| PC101 (EFEM) PowerPoint Laad- en losmethode | Landport + Robotarm |
| Precisie van de pre-aligner | Korrectie van het midden van de cirkel ≤ ±0,1 mm Hoekcorrectie van de cirkel ≤ ±0,2° |
| Waferlezer | Ondersteunende SEMI-lettertypen (platte of geïmprimeerde oppervlakken), niet-SEMI-lettertypen |
| Jetting systeem. Transmissie systeem. | X/Y: lineaire motor Z: Servomotor en schroefmodule |
| Herhaalbaarheid (3sigma) | X/Y: ±3 μm Z: ±5 μm |
| Positioneringsnauwkeurigheid (3 sigma) | X/Y: ± 10 μm |
| Max. snelheid | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Max. versnelling | X/Y:1 g Z: 0,5 g |
| Visuele systeem. | 130 W |
| Identificeer nauwkeurigheid | ± 1 pixel |
| Identificeer bereik | 10 × 12 mm |
| Lichtbron | Rood, groen, wit gecombineerd licht + extra rode verlichting |
| Chuck tafel. Vacuümzuiging vlakheid afwijking. | ≤ 30 μm |
| Afwijking van de verwarmingstemperatuur | ± 1,5°C |
| Herhaalbaarheid van de hefhoogte | ± 10 μm |
| Vacuümzuigdruk | -85~-70KPa (instelbaar) |
| Algemene conditie. | 3075*2200*2200mm (Display-scherm ontvouwen) |
| Temperatuur van de bedrijfsomgeving | 23°C ± 3°C |
| Operatie Omgevingsvochtigheid | 30-70% |
