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| Marca: | Mingseal |
| Número De Modelo: | El número de SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Precio: | $28000-$150000 / pcs |
| Tiempo De Entrega: | Entre 5 y 60 días |
| Condiciones De Pago: | L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union |
| Máquina para distribuir las obleas de nivel SS101 | Especificaciones |
|---|---|
| Rango de aplicaciones. Configuración de obleas. | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (La versión estándar admite solo 12 pulgadas) |
| espesor de la oblea | 300 ~ 25500 μm |
| Max. Acceptable Wafer Warp | 5 mm (sujeto a la selección del modelo del dedo) |
| Peso máximo de la oblea | 600 g (dependiendo de la selección del modelo Finger) |
| Tipo de caja de obleas soportada | 8 pulgadas Open Cassette/ 12 pulgadas Foup (la versión estándar soporta sólo 12 pulgadas) |
| PC101 (EFEM) el método de carga y descarga | Landport + Brazo Robótico |
| Precisión del pre-alineador | Desviación de corrección del centro del círculo ≤ ±0,1 mm Desviación de corrección del ángulo ≤ ±0,2° |
| Lector de obleas | Soporte para fuentes SEMI (superficies planas o en relieve), fuentes no SEMI |
| Sistema de chorro. Sistema de transmisión. | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
| Repetibilidad (3 sigma) | Se aplicarán las siguientes medidas: |
| Precisión de posicionamiento (3 sigma) | Se aplicarán las siguientes medidas: |
| Velocidad máxima | La velocidad máxima de la corriente de aire de la unidad de ensayo será de: |
| Aceleración máxima | Se aplicará el método de ensayo siguiente: |
| Sistema visual. Los píxeles | de energía de 130 W |
| Identifique la exactitud | El valor de la imagen |
| Identificar el rango | 10*12 mm |
| Recursos de luz | Luz roja, verde, blanca combinada + iluminación extra roja |
| Chuck Table. Succión de vacío Desviación de planeación | ≤ 30 μm |
| Desviación de la temperatura de calefacción | ± 1,5°C |
| Repetibilidad de la altura de elevación | ± 10 μm |
| Presión de succión al vacío | -85 ~ 70 KPa (configurar) |
| Condición general. Huella de pie. | 3075*2200*2200mm (se despliega la pantalla) |
| Temperatura del entorno de operación | 23°C ± 3°C |
| Operación Humedad del medio ambiente | Entre el 30 y el 70% |
