|
|
| Наименование марки: | Mingseal |
| Номер модели: | СС101 |
| MOQ: | 1 |
| цена: | $28000-$150000 / pcs |
| Срок доставки: | 5-60 дней |
| Условия оплаты: | Аккредитив, безотзывный аккредитив, документы против акцепта, документы против платежа, банковский п |
| SS101 Машина для распределения вафли на уровне | Спецификации |
|---|---|
| Диапазон применения. Конфигурация пластинки | φ200±0,5mm/φ300±0,5mm (Стандартная версия поддерживает только 12-дюймовую версию) |
| Толщина вафеля | 300-25500 мкм |
| Максимальная допустимая вафельная деформация. | 5 мм (в зависимости от выбора модели пальца) |
| Максимальная масса пластинки | 600 г (в зависимости от выбора модели Finger) |
| Поддерживаемый тип коробки для пластинок | 8-дюймовая открытая кассета/ 12-дюймовый Foup (Стандартная версия поддерживает только 12-дюймовую) |
| PC101 (EFEM) -- метод загрузки и разгрузки | Ландпорт + Рука робота |
| Точность предварительного выравнивания | Отклонение коррекции центра круга ≤ ±0,1 мм Отклонение коррекции угла ≤ ±0,2° |
| Читатель пластин | Поддерживающие шрифты SEMI (плоские или рельефные поверхности), шрифты, не являющиеся SEMI |
| Система реактивных реакторов. Система передач. | X/Y: Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль |
| Повторяемость (3сигма) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Точность позиционирования (3сигма) | X/Y: ± 10 мкм |
| Максимальная скорость | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Максимальное ускорение | X/Y:1g Z: 0,5g |
| Визуальная система ∙ Пиксели | 130 Вт |
| Определите точность | ± 1 пиксель |
| Определить диапазон | 10*12 мм |
| Световой ресурс | Красный, зеленый, белый комбинированный свет + дополнительное красное освещение |
| Chuck Table. Вакуумная всасывающая плоскость отклонение | ≤ 30 мкм |
| Отклонение температуры нагрева | ±1,5°C |
| Повторяемость высоты подъема | ± 10 мкм |
| Давление всасывания под вакуумом | -85~-70KPa (установляемая) |
| Общее состояние. | 3075*2200*2200мм (скрытие экрана) |
| Температура окружающей среды | 23°C±3°C |
| Операция "Влажность окружающей среды" | 30-70% |
