|
|
| Marka Adı: | Mingseal |
| Model Numarası: | SS101 |
| Adedi: | 1 |
| Fiyat: | $28000-$150000 / pcs |
| Teslim Zamanı: | 5-60 gün |
| Ödeme Şartları: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| SS101 Wafer Seviyesi Dağıtım Makinesi | Özellikler |
|---|---|
| Uygulama Aralığı | Wafer Yapılandırması | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Standart sürüm yalnızca 12 inç'i destekler) |
| Wafer Kalınlığı | 300~25500 μm |
| Maks. Kabul Edilebilir Wafer Çarpılması | 5mm (Parmak model seçimine bağlıdır) |
| Maks. Wafer Ağırlığı | 600g (Parmak model seçimine bağlıdır) |
| Desteklenen Wafer Kutusu Tipi | 8 inç Açık Kaset / 12 inç Foup (Standart sürüm yalnızca 12 inç'i destekler) |
| PC101 (EFEM) | Yükleme ve Boşaltma Yöntemi | Landport +Robot Kolu |
| Ön Hizalayıcı Hassasiyeti | Daire merkezi düzeltme sapması ≤ ±0.1 mm Açı düzeltme sapması ≤ ±0.2° |
| Wafer Okuyucu | SEMI yazı tiplerini (düz veya kabartmalı yüzeyler), SEMI olmayan yazı tiplerini destekler |
| Püskürtme Sistemi | İletim Sistemi | X/Y: Doğrusal motor Z: Servo motor ve Vida modülü |
| Tekrarlanabilirlik (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Konumlandırma Hassasiyeti (3sigma) | X/Y:±10 μm |
| Maks. Hız | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Maks. İvme | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Görsel Sistem | Piksel | 130W |
| Tanımlama Hassasiyeti | ±1piksel |
| Tanımlama Aralığı | 10*12mm |
| Işık Kaynağı | Kırmızı, Yeşil, Beyaz birleşik ışık + ekstra kırmızı aydınlatma |
| Tabla | Vakum Emiş Düzlüğü Sapması | ≤30 μm |
| Isıtma Sıcaklığı Sapması | ±1.5℃ |
| Kaldırma yüksekliği tekrarlanabilirliği | ±10 μm |
| Vakum Emiş Basıncı | -85~-70KPa (Ayarlanabilir) |
| Genel Durum | Ayak İzi G* D * Y | 3075*2200*2200mm (Ekran katlanmış) |
| Çalışma Ortamı Sıcaklığı | 23℃±3℃ |
| Çalışma Ortamı Nemi | 30-70% |
