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| ब्रांड नाम: | Mingseal |
| मॉडल संख्या: | एसएस101 |
| एमओक्यू: | 1 |
| मूल्य: | $28000-$150000 / pcs |
| प्रसव का समय: | 5-60 दिन |
| भुगतान की शर्तें: | एल/सी, डी/ए, डी/पी, टी/टी, वेस्टर्न यूनियन |
| SS101 वेफर लेवल डिस्पेंसिंग मशीन | विनिर्देश |
|---|---|
| अनुप्रयोग रेंज | वेफर कॉन्फ़िगरेशन | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (मानक संस्करण केवल 12-इंच का समर्थन करता है) |
| वेफर मोटाई | 300~25500 μm |
| अधिकतम स्वीकार्य वेफर वार्प | 5mm (फिंगर मॉडल चयन के अधीन) |
| अधिकतम वेफर वजन | 600g (फिंगर मॉडल चयन के अधीन) |
| समर्थित वेफर-बॉक्स प्रकार | 8-इंच ओपन कैसेट/ 12-इंच Foup (मानक संस्करण केवल 12-इंच का समर्थन करता है) |
| PC101 (EFEM) | लोडिंग और अनलोडिंग विधि | लैंडपोर्ट + रोबोट आर्म |
| प्री-अलाइनर सटीकता | सर्कल सेंटर करेक्शन डेविएशन ≤ ±0.1 mm एंगल करेक्शन डेविएशन ≤ ±0.2° |
| वेफर रीडर | SEMI फ़ॉन्ट (फ्लैट या एम्बॉस्ड सतहें), गैर-SEMI फ़ॉन्ट का समर्थन करता है |
| जेटिंग सिस्टम | ट्रांसमिशन सिस्टम | X/Y: लीनियर मोटर Z: सर्वो मोटर और स्क्रू मॉड्यूल |
| पुनरावृत्ति (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| पोजिशनिंग सटीकता (3sigma) | X/Y:±10 μm |
| अधिकतम गति | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| अधिकतम त्वरण | X/Y:1g Z: 0.5g |
| विजुअल सिस्टम | पिक्सेल | 130W |
| पहचान सटीकता | ±1पिक्सेल |
| पहचान रेंज | 10*12mm |
| प्रकाश संसाधन | लाल, हरा, सफेद संयुक्त प्रकाश + अतिरिक्त लाल रोशनी |
| चक टेबल | वैक्यूम सक्शन प्लेननेस डेविएशन | ≤30 μm |
| हीटिंग तापमान डेविएशन | ±1.5℃ |
| लिफ्टिंग ऊंचाई पुनरावृत्ति | ±10 μm |
| वैक्यूम सक्शन प्रेशर | -85~-70KPa (सेट करने योग्य) |
| सामान्य स्थिति | फुटप्रिंट W* D * H | 3075*2200*2200mm (डिस्प्ले स्क्रीन अनफोल्ड) |
| ऑपरेशन पर्यावरण तापमान | 23℃±3℃ |
| ऑपरेशन पर्यावरण आर्द्रता | 30-70% |
