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| ブランド名: | Mingseal |
| モデル番号: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| 価格: | $28000-$150000 / pcs |
| 配達時間: | 5〜60日 |
| 支払条件: | L/C,D/A,D/P,T/T,ウェスタン・ユニオン |
| SS101 ウェーファーレベル配給機 | 仕様 |
|---|---|
| 適用範囲 ウェッファー構成 | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (標準版は12インチのみに対応) |
| ウェファーの厚さ | 300~25500 μm |
| マックス 容認可能なワファー・ウォープ | 5mm (Fingerモデル選択による) |
| ワッフル重量 | 600g (Fingerモデル選択による) |
| サポートされているウェッファーボックスタイプ | 8インチオープンカセット/12インチフープ (標準版は12インチのみをサポート) |
| PC101 (EFEM) パソコンの読み込み・読み上げ方法 | ランドポート + ロボット腕 |
| 調整前精度 | 円の中央修正偏差 ≤ ±0.1 mm 角修正偏差 ≤ ±0.2° |
| ウェッファーリーダー | SEMI フォント (平面または凸字) をサポートする,SEMI ではないフォント |
| ジェットシステム 送電システム | X/Y:線形モーター Z:サーボモーター&スクリューモジュール |
| 繰り返し性 (3シグマ) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| 定位精度 (3シグマ) | X/Y:±10 μm |
| マックス スピード | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| マックス 加速 | X/Y:1g Z:0.5g |
| 視覚システム ピクセル | 130W |
| 精度 を 特定 する | ±1ピクセル |
| 範囲を特定する | 10*12mm |
| 光源 | 赤,緑,白の組み合わせた光 +赤の追加照明 |
| チャック・テーブル 真空吸着 平面性偏差 | ≤30 μm |
| 熱温の偏差 | ±1.5°C |
| リフティングの高さの繰り返し性 | ±10 μm |
| バキューム吸気圧 | -85~-70KPa (設定可能) |
| 足跡 W*D*H | 3075*2200*2200mm (ディスプレイを展開する) |
| 操作環境温度 | 23°C±3°C |
| 操作環境湿度 | 30~70% |
