|
|
| Tên thương hiệu: | Mingseal |
| Số mẫu: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Giá cả: | $28000-$150000 / pcs |
| Thời gian giao hàng: | 5-60 ngày |
| Điều khoản thanh toán: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| SS101 Máy phân phối Wafer Level | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Phạm vi ứng dụng. | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm ( Phiên bản tiêu chuẩn chỉ hỗ trợ 12 inch) |
| Độ dày wafer | 300 ~ 25500 μm |
| Tối đa. | 5mm (tùy theo lựa chọn mô hình ngón tay) |
| Trọng lượng wafer tối đa | 600g (phụ thuộc vào lựa chọn mô hình ngón tay) |
| Loại hộp Wafer được hỗ trợ | 8 inch Open Cassette / 12 inch Foup ( Phiên bản tiêu chuẩn chỉ hỗ trợ 12 inch) |
| PC101 (EFEM) -- Phương pháp tải và dỡ | Landport + Robot Arm |
| Độ chính xác của bộ điều chỉnh trước | Phản lệch điều chỉnh trung tâm vòng tròn ≤ ±0,1 mm Phản lệch điều chỉnh góc ≤ ±0,2° |
| Người đọc Wafer | Hỗ trợ các phông chữ SEMI (phần phẳng hoặc nổi bật), các phông chữ không phải là SEMI |
| Hệ thống phản lực. Hệ thống truyền tải. | X/Y: Động cơ tuyến tính Z: Động cơ servo & Mô-đun vít |
| Khả năng lặp lại (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Độ chính xác định vị trí (3sigma) | X/Y: ± 10 μm |
| Max. tốc độ. | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Tăng tốc | X/Y:1g Z: 0,5g |
| Hệ thống hình ảnh. | 130W |
| Xác định tính chính xác | ±1 pixel |
| Xác định phạm vi | 10*12mm |
| Nguồn ánh sáng | Ánh sáng kết hợp màu đỏ, xanh lá cây, trắng + ánh sáng màu đỏ thêm |
| Chuck Table. Vacuum Suction Planeness Deviation (Bước lệch tính phẳng của hút chân không) | ≤ 30 μm |
| Phản ứng nhiệt độ sưởi | ± 1,5°C |
| Khả năng lặp lại chiều cao nâng | ± 10 μm |
| Áp suất hút chân không | -85~-70KPa (có thể cài đặt) |
| Điều kiện chung. | 3075*2200*2200mm (Màn hình hiển thị mở ra) |
| Nhiệt độ môi trường hoạt động | 23°C±3°C |
| Hoạt động ẩm môi trường | 30-70% |
