|
|
| ชื่อแบรนด์: | Mingseal |
| เลขรุ่น: | เอสเอส101 |
| ขั้นต่ำ: | 1 |
| ราคา: | $28000-$150000 / pcs |
| ระยะเวลาการจัดส่ง: | 5-60 วัน |
| เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | L/C, D/A, D/P, T/T ตะวันตกสหภาพ |
| SS101 เครื่องกระจายแผ่นแผ่น | รายละเอียด |
|---|---|
| ระดับการใช้งาน | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (รุ่นมาตรฐานรองรับเพียง 12 นิ้ว) |
| ความหนาของวอลเฟอร์ | 300 ~ 25500 μm |
| แม็กซ์ ยอดรับรองของวอฟเฟอร์วอร์ป | 5mm (ขึ้นอยู่กับการเลือกรุ่นนิ้วมือ) |
| น้ําหนักของกระปุก | 600 กรัม (ขึ้นอยู่กับการเลือกรุ่น Finger) |
| ประเภทกล่องวอเฟอร์ที่รองรับ | 8 นิ้ว Open Cassette/ 12 นิ้ว Foup (สแตนดาร์ทเวอร์ชั่นรองรับ 12 นิ้วเท่านั้น) |
| PC101 (EFEM) ช่องทางการบรรทุกและถอด | แลนด์พอร์ต + แอร์มหุ่นยนต์ |
| ความแม่นยําก่อนการปรับ | ความหันของการแก้ไขศูนย์กลางวงกลม ≤ ± 0.1 mm ความหันของการแก้ไขมุม ≤ ± 0.2° |
| อ่านวอฟเฟอร์ | รองรับตัวอักษร SEMI (ผิวเรียบหรือผิวทับทิม) ตัวอักษรที่ไม่ใช่ SEMI |
| ระบบเจตต์ ระบบส่งสัญญาณ | X/Y: มอเตอร์เส้น Z: มอเตอร์เซอร์โว & โมดูลสกรู |
| ความซ้ํา (3sigma) | X/Y: ± 3 μm Z: ± 5 μm |
| ความแม่นยําในการตั้งตําแหน่ง (3sigma) | X/Y: ± 10 μm |
| สูงสุด ความเร็ว | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| แม็กซ์เร่ง | X/Y:1g Z: 0.5g |
| ระบบภาพ พิกเซล | 130W |
| ระบุ ความ ถูกต้อง | ± 1 พิกเซล |
| ระบุระยะ | 10*12 มม. |
| แสงแหล่ง | สีแดง สีเขียว สีขาวรวมแสง + การส่องแสงสีแดงเสริม |
| โต๊ะชัค แวคิวัมสัคชั่น ความเรียบเบื้อง | ≤ 30 μm |
| การเบี่ยงเบนอุณหภูมิการทําความร้อน | ± 1.5 °C |
| ความสูงการยกซ้ํา | ± 10 μm |
| ความดันการดูดในระยะว่าง | -85~-70KPa (สามารถตั้งค่าได้) |
| สภาพทั่วไป ริ้วเท้า W* D* H | 3075*2200*2200mm (จอเปิด) |
| อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทํางาน | 23°C±3°C |
| การดําเนินงานความชื้นของสิ่งแวดล้อม | 30-70% |
