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| Nome da marca: | Mingseal |
| Número do modelo: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| preço: | $28000-$150000 / pcs |
| Tempo de entrega: | 5 a 60 dias |
| Condições de Pagamento: | L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union |
| Máquina de Dispensação em Nível de Wafer SS101 | Especificações |
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| Faixa de Aplicação | Configuração do Wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Versão padrão suporta apenas 12 polegadas) |
| Espessura do Wafer | 300~25500 μm |
| Distorção Máxima Aceitável do Wafer | 5mm (sujeito à seleção do modelo de Finger) |
| Peso Máximo Aceitável do Wafer | 600g (sujeito à seleção do modelo de Finger) |
| Tipo de Caixa de Wafer Suportada | Cassete Aberto de 8 polegadas/ Foup de 12 polegadas (Versão padrão suporta apenas 12 polegadas) |
| PC101 (EFEM) | Método de Carregamento e Descarregamento | Landport + Braço Robótico |
| Precisão do Pré-Alinhador | Desvio de correção do centro do círculo ≤ ±0.1 mm Desvio de correção de ângulo ≤ ±0.2° |
| Leitor de Wafer | Suporta fontes SEMI (superfícies planas ou em relevo), fontes não-SEMI |
| Sistema de Jato | Sistema de Transmissão | X/Y: Motor linear Z: Servo motor e módulo de parafuso |
| Repetibilidade (3 sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Precisão de Posicionamento (3 sigma) | X/Y:±10 μm |
| Velocidade Máxima | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Aceleração Máxima | X/Y:1g Z: 0.5g |
| Sistema Visual | Pixel | 130W |
| Precisão de Identificação | ±1pixel |
| Faixa de Identificação | 10*12mm |
| Recurso de Luz | Luz combinada Vermelha, Verde, Branca + iluminação vermelha extra |
| Mesa de Chuck | Desvio de Planicidade de Sucção a Vácuo | ≤30 μm |
| Desvio de Temperatura de Aquecimento | ±1.5℃ |
| Repetibilidade de altura de elevação | ±10 μm |
| Pressão de Sucção a Vácuo | -85~-70KPa (Ajustável) |
| Condição Geral | Pegada L* P * A | 3075*2200*2200mm (Tela de exibição desdobrada) |
| Temperatura do Ambiente de Operação | 23℃±3℃ |
| Umidade do Ambiente de Operação | 30-70% |
