|
|
| Επωνυμία: | Mingseal |
| Αριθμός μοντέλου: | SS101 |
| Ελάχιστη Ποσότητα Παραγγελίας: | 1 |
| τιμή: | $28000-$150000 / pcs |
| Χρόνος Παράδοσης: | 5 έως 60 ημέρες |
| Όροι πληρωμής: | Λ/Κ, Δ/Α, Δ/Π, Τ/Τ, Western Union |
| Μηχανή διανομής υαλοπίνακας SS101 | Προδιαγραφές |
|---|---|
| Πεδίο εφαρμογής. Διαμόρφωση κυψελών | φ200±0,5mm/φ300±0,5mm (Η τυποποιημένη έκδοση υποστηρίζει μόνο 12 ίντσες) |
| Μοντέλο | 300 έως 25500 μm |
| Μαξ. Αποδεκτό Wafer Warp | 5 mm (υπόκειται στην επιλογή μοντέλου δακτυλίου) |
| Μέγιστο βάρος της πλάκας | 600g (υπόκειται στην επιλογή του μοντέλου Finger) |
| Υποστηριζόμενος τύπος κουτιού κυψελών | 8 ιντσών Open Cassette/ 12 ιντσών Foup (Η τυποποιημένη έκδοση υποστηρίζει μόνο 12 ιντσών) |
| PC101 (EFEM) -- Μέθοδος φόρτωσης και εκφόρτωσης | Λάντπορτ + Ρομποτικό Χέρι |
| Ακριβότητα προ-ευθυγράμμισης | Απόκλιση διόρθωσης κέντρου κύκλου ≤ ±0,1 mm Απόκλιση διόρθωσης γωνίας ≤ ±0,2° |
| Διαβάτης κυψελών | Υποστήριξη γραμματοσειρών SEMI (επίπεδες ή ανάγλυφτες), γραμματοσειρές μη SEMI |
| Σύστημα εκτόξευσης. Σύστημα μεταφοράς. | Χ/Υ: Γραμμικός κινητήρας Z: Σερβοκινητήρας και μονάδα βίδα |
| Επαναληπτότητα (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Ακριβότητα θέσης (3sigma) | Χ/Υ: ± 10 μm |
| Μαξ. Ταχύτητα | Χ/Υ:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Μέγιστη επιτάχυνση | X/Y:1g Z: 0,5g |
| Οπτικό Σύστημα. | 130W |
| Αναγνωρίστε την Ακρίβεια | ±1 pixel |
| Προσδιορίστε το εύρος | 10*12mm |
| Πηγές φωτός | Κόκκινο, πράσινο, λευκό συνδυασμένο φως + πρόσθετο κόκκινο φωτισμό |
| Τραπέζι Τσακ | ≤ 30 μm |
| Απόκλιση θερμοκρασίας θέρμανσης | ±1,5°C |
| Επαναληψιμότητα ύψους ανύψωσης | ± 10 μm |
| Πίεση αναρρόφησης υπό κενό | -85~-70KPa (προσαρμόσιμο) |
| Γενική κατάσταση. | 3075*2200*2200mm (εκτύπωση οθόνης) |
| Θέρμανση περιβάλλοντος λειτουργίας | 23°C±3°C |
| Επιχείρηση Περιβάλλον υγρασία | 30-70% |
