|
|
| Nama merek: | Mingseal |
| Nomor Model: | SS101 |
| MOQ: | 1 |
| Harga: | $28000-$150000 / pcs |
| Waktu Pengiriman: | 5-60 Hari |
| Ketentuan Pembayaran: | L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union |
| SS101 Wafer Level Dispensing Machine | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang Aplikasi. Konfigurasi Wafer | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (Versi standar hanya mendukung 12 inci) |
| Ketebalan Wafer | 300 ~ 25500 μm |
| Max. Warp Wafer yang dapat diterima | 5mm (tergantung pada pilihan model jari) |
| Berat Wafer | 600g (tergantung pada pilihan model jari) |
| Tipe kotak wafer yang didukung | 8-inch Open Cassette/ 12-inch Foup (Versi standar hanya mendukung 12-inch) |
| PC101 (EFEM) ∙ Metode Pemuatan & Pengungkapan | Landport + Robot Arm |
| Precision Pra-Aligner | Penyimpangan koreksi pusat lingkaran ≤ ±0,1 mm Penyimpangan koreksi sudut ≤ ±0,2° |
| Wafer Reader | Mendukung font SEMI (permukaan datar atau tergores), font non-SEMI |
| Sistem Jetting. Sistem Transmisi. | X/Y: Motor linier Z: Servo motor & modul sekrup |
| Kemungkinan diulang (3sigma) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm |
| Keakuratan Posisi (3sigma) | X/Y: ± 10 μm |
| Kecepatan maksimum. | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
| Maks. akselerasi | X/Y:1g Z: 0,5g |
| Sistem Visual. | 130W |
| Mengidentifikasi Akurasi | ± 1 piksel |
| Mengidentifikasi Jangkauan | 10*12mm |
| Sumber Cahaya | Cahaya merah, hijau, putih gabungan + pencahayaan ekstra merah |
| Meja Chuck. Asupan vakum Penyimpangan rata. | ≤ 30 μm |
| Penyimpangan suhu pemanasan | ± 1,5°C |
| Kemampuan untuk mengulangi ketinggian angkat | ± 10 μm |
| Tekanan hisap vakum | -85~-70KPa (bisa diatur) |
| Kondisi Umum. | 3075*2200*2200mm (Tembok layar) |
| Suhu Lingkungan Operasi | 23°C±3°C |
| Operasi Kelembaban Lingkungan | 30-70% |
