क्लास 10 क्लीनरूम आरडीएल फर्स्ट डब्लूएलपी अंडरफिल एडवांस्ड पैकेजिंग वेफर लेवल डिस्पेंसिंग मशीन

उन्नत सेमीकंडक्टर उपकरणों का विकास, जैसे 2.5D और फैन-आउट वेफर-लेवल पैकेजिंग, की मांग है वेफर स्टेज पर अल्ट्रा-विश्वसनीय अंडरफिल प्रक्रियाएं। SS101 को एक नियंत्रित क्लास 10 क्लीनरूम-संगत एन्क्लोजर के भीतर एक अत्यधिक स्थिर डिस्पेंसिंग वातावरण प्रदान करके इन चुनौतियों का समाधान करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जो सटीक तापमान प्रबंधन और वास्तविक समय की निगरानी द्वारा समर्थित है।

एक खुले संचार प्रोटोकॉल से लैस और अंतर्राष्ट्रीय सेमीकंडक्टर ESD मानकों (IEC और ANSI) के अनुरूप, SS101 मौजूदा फैक्ट्री सूचना प्रबंधन प्रणालियों के साथ निर्बाध रूप से जुड़ता है — आधुनिक स्मार्ट फैब और मानव रहित संचालन की जरूरतों का समर्थन करता है।

यह कैसे काम करता है

SS101 एक पूरी तरह से स्वचालित वेफर-लेवल अंडरफिल सेल के रूप में कार्य करता है एक क्लास 10 क्लीनरूम एन्क्लोजर के भीतर। प्रक्रिया लोडपोर्ट पर शुरू होती है जहां 12-इंच FOUPs (या 8-इंच ओपन कैसेट) लोड किए जाते हैं। एक रोबोटिक हैंडलिंग मॉड्यूल प्रत्येक वेफर को सटीक ओरिएंटेशन के लिए अलाइनर में स्थानांतरित करता है, फिर ट्रेसिबिलिटी के लिए कोड स्कैनिंग स्टेशन पर। वेफर प्रीहीटिंग स्टेशन पर आगे बढ़ता है जहां यह अंडरफिल सामग्री प्रवाह के लिए इष्टतम तापमान तक पहुंचता है। डुअल GS600SWA/SWB डिस्पेंसिंग स्टेशनों पर, अंडरफिल सामग्री को ±10μm पोजिशनिंग सटीकता के साथ सटीक रूप से लगाया जाता है। डिस्पेंसिंग के बाद, वेफर रोबोटिक ट्रांसफर से पहले नियंत्रित कूलिंग के लिए हीट डिसिपेशन स्टेशन पर चला जाता है। संपूर्ण वर्कफ़्लो एक खुले संचार प्रोटोकॉल (SEMI-अनुरूप) के माध्यम से प्रबंधित किया जाता है जो पूर्ण ट्रेसिबिलिटी और मानव रहित संचालन क्षमता के लिए फैब MES/AMHS सिस्टम के साथ एकीकृत होता है।

मुख्य लाभ

• वेफर-लेवल अंडरफिल के लिए अनुकूलित: उन्नत फैन-आउट और RDL फर्स्ट पैकेजिंग परिदृश्यों में अंडरफिल और CUF प्रक्रियाओं के लिए उद्देश्य-निर्मित।
• पूरी तरह से स्वचालित वर्कफ़्लो: रोबोटिक हैंडलिंग मॉड्यूल के साथ स्वचालित वेफर लोडिंग/अनलोडिंग, अलाइनमेंट, प्रीहीटिंग, डिस्पेंसिंग, हीट डिसिपेशन और स्टेशनों के बीच ट्रांसफर।
• उत्कृष्ट क्लीनरूम संगतता: क्लास 1000 फैब वातावरण के अंदर क्लास 10 ऑपरेशन का समर्थन करें।
• सटीक थर्मल नियंत्रण: विश्वसनीय प्रवाह, इलाज की स्थिरता और बम्प्स और माइक्रो-स्ट्रक्चर पर न्यूनतम तनाव सुनिश्चित करते हुए महत्वपूर्ण अंडरफिल संचालन के दौरान स्थिर वेफर तापमान बनाए रखें।

कैसे चुनें

1. क्लीनरूम वर्गीकरण — RDL फर्स्ट और फैन-आउट पैकेजिंग के लिए, उजागर वेफर सतहों पर कण संदूषण को रोकने के लिए क्लास 10 (ISO क्लास 4) डिस्पेंसिंग वातावरण महत्वपूर्ण है।

2. वेफर आकार संगतता — SS101 8-इंच और 12-इंच दोनों वेफर्स का समर्थन करता है। 12-इंच FOUP मानक है; लेगेसी उत्पादों के लिए 8-इंच ओपन कैसेट कॉन्फ़िगरेशन की आवश्यकता होने पर पुष्टि करें।

3. स्वचालन स्तर — पूर्ण रोबोटिक हैंडलिंग मैन्युअल हस्तक्षेप को समाप्त करती है, संदूषण जोखिम को कम करती है और लाइट-आउट निर्माण को सक्षम करती है।

4. थर्मल नियंत्रण — एकीकृत प्रीहीटिंग और हीट डिसिपेशन स्टेशन अंडरफिल प्रक्रिया के दौरान लगातार वेफर तापमान सुनिश्चित करते हैं।

5. फैब एकीकरण — SEMI-अनुरूप संचार प्रोटोकॉल, AMHS इंटरफ़ेस तत्परता, और SECS/GEM समर्थन मौजूदा सेमीकंडक्टर फैब इंफ्रास्ट्रक्चर में निर्बाध एकीकरण के लिए आवश्यक हैं।

अनुप्रयोग क्षेत्र

✔ RDL फर्स्ट वेफर-लेवल पैकेजिंग (WLP)
✔ चिप अंडरफिल (CUF) अनुप्रयोग
✔ उन्नत 2.5D और फैन-आउट पैकेजिंग
✔ वेफर-लेवल CoWoS, FOPLP, और समान अगली-पीढ़ी की प्रक्रियाएं
✔ बड़े पैमाने पर सेमीकंडक्टर फैब के लिए उच्च-उपज अंडरफिल लाइनें

सिस्टम संरचना

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

Q1: SS101 को मानक डिस्पेंसिंग सिस्टम से क्या अलग बनाता है?
A: सामान्य-उद्देश्य वाले डिस्पेंसरों के विपरीत, SS101 वेफर अलाइनमेंट, प्रीहीटिंग और रोबोटाइज्ड ट्रांसफर के साथ वेफर-लेवल अंडरफिल के लिए विशेष है — माइक्रो-बम्प स्केल पर समान फिलिंग सुनिश्चित करता है।

Q2: क्या SS101 8-इंच और 12-इंच दोनों वेफर्स को संभाल सकता है?
A: हाँ — इसे दोनों आकारों का समर्थन करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिसमें 12-इंच FOUP संगतता मानक है और वैकल्पिक 8-इंच ओपन कैसेट कॉन्फ़िगरेशन है।

Q3: SS101 वेफर संदूषण को कम करने में कैसे मदद करता है?
A: इसका क्लास 10 डिस्पेंसिंग ज़ोन और निर्बाध रोबोट हैंडलिंग मैन्युअल हस्तक्षेप, धूल प्रवेश और ESD जोखिम को कम करता है।

Q4: क्या SS101 मौजूदा फैब में एकीकृत करना आसान है?
A: बिल्कुल — यह SEMI-अनुरूप वेफर रीडर, AMHS इंटरफेस और मानक फैक्ट्री संचार प्रोटोकॉल का समर्थन करता है।

Mingseal के बारे में

Mingseal उच्च-सटीकता डिस्पेंसिंग, कोटिंग और वेफर-लेवल फ्लूइड प्रोसेस समाधानों का एक विश्व स्तर पर मान्यता प्राप्त प्रदाता है। हम सेमीकंडक्टर, ऑप्टिकल और उन्नत पैकेजिंग निर्माताओं को नवीन स्वचालन उपकरण के साथ सशक्त बनाते हैं जो उपज, स्थिरता और स्मार्ट फैक्ट्री लक्ष्यों को बढ़ावा देते हैं। उच्च-मात्रा वेफर अंडरफिल से लेकर अत्याधुनिक 2.5D एकीकरण तक, Mingseal स्थिर प्रदर्शन, स्थानीय सेवा और दुनिया भर में विश्वसनीय इंजीनियरिंग सहायता प्रदान करता है।

Mingseal से संपर्क करेंयह जानने के लिए कि SS101 वेफर-लेवल डिस्पेंसिंग मशीन आपकी उन्नत पैकेजिंग क्षमताओं को अगले स्तर पर कैसे ले जा सकती है।