क्लास 10 क्लीनरूम आरडीएल फर्स्ट डब्लूएलपी अंडरफिल एडवांस्ड पैकेजिंग वेफर लेवल डिस्पेंसिंग मशीन

उन्नत अर्धचालक उपकरणों का विकास, जैसे कि 2.5 डी और फैन-आउट वेफर-स्तरीय पैकेजिंग, मांग करता हैवेफर चरण में अति-विश्वसनीय अंडरफिल प्रक्रियाएं. SS101 को नियंत्रित कक्षा 10 स्वच्छ कक्ष संगत संलग्नक के भीतर एक अत्यधिक स्थिर वितरण वातावरण प्रदान करके इन चुनौतियों का सामना करने के लिए इंजीनियर किया गया है,सटीक तापमान प्रबंधन और वास्तविक समय की निगरानी द्वारा समर्थित.

एक खुले संचार प्रोटोकॉल से सुसज्जित और अंतरराष्ट्रीय अर्धचालक ईएसडी मानकों (आईईसी और एएनएसआई) के अनुरूप,एसएस101 मौजूदा फैक्ट्री सूचना प्रबंधन प्रणालियों के साथ सहजता से जुड़ता है, आधुनिक स्मार्ट फैक्ट्री और मानव रहित संचालन आवश्यकताओं का समर्थन करता है.

यह कैसे काम करता है

SS101 एकपूरी तरह से स्वचालित वेफर स्तर के अंडरफिल सेलयह प्रक्रिया लोडपोर्ट पर शुरू होती है जहां 12 इंच के FOUP (या 8 इंच के खुले कैसेट) लोड किए जाते हैं।एक रोबोटिक हैंडलिंग मॉड्यूल सटीक अभिविन्यास के लिए प्रत्येक वेफर को एलाइनर में स्थानांतरित करता है, फिर कोड स्कैनिंग स्टेशन को ट्रेस करने के लिए। वेफर प्रीहीटिंग स्टेशन पर जाता है जहां यह अंडरफिल सामग्री प्रवाह के लिए इष्टतम तापमान तक पहुंचता है।दोहरे GS600SWA/SWB वितरण स्टेशनों पर, अंडरफिल सामग्री को ±10μm पोजिशनिंग सटीकता के साथ सटीक रूप से लागू किया जाता है।रोबोटिक स्थानांतरण वापस FOUP से पहले नियंत्रित शीतलन के लिए गर्मी अपव्यय स्टेशन के लिए चला जाता हैपूरे कार्यप्रवाह को एक खुले संचार प्रोटोकॉल (SEMI- अनुरूप) के माध्यम से प्रबंधित किया जाता है जो पूर्ण ट्रेसेबिलिटी और मानव रहित संचालन क्षमता के लिए फैब एमईएस/एएमएचएस प्रणालियों के साथ एकीकृत होता है।

मुख्य लाभ

• वफ़र-स्तरीय अंडरफिल के लिए अनुकूलित: उन्नत फैन-आउट और आरडीएल फर्स्ट पैकेजिंग परिदृश्यों में अंडरफिल और सीयूएफ प्रक्रियाओं के लिए विशेष रूप से निर्मित।
• पूरी तरह से स्वचालित कार्यप्रवाह: रोबोटिक हैंडलिंग मॉड्यूल के साथ स्वचालित वेफर लोडिंग/अनलोडिंग, संरेखण, प्रीहीटिंग, वितरण, गर्मी अपव्यय और स्टेशनों के बीच हस्तांतरण।
• उत्कृष्ट स्वच्छ कक्ष संगतता: कक्षा 1000 फैब वातावरण के भीतर कक्षा 10 ऑपरेशन का समर्थन करें।
• सटीक ताप नियंत्रण: महत्वपूर्ण अंडरफिल ऑपरेशन के दौरान स्थिर वेफर तापमान बनाए रखें, विश्वसनीय प्रवाह, सख्त स्थिरता और टक्कर और सूक्ष्म संरचनाओं पर न्यूनतम तनाव सुनिश्चित करें।

कैसे चुनें

1. स्वच्छ कक्ष वर्गीकरणआरडीएल फर्स्ट और फैन-आउट पैकेजिंग के लिए, कक्षा 10 (आईएसओ कक्षा 4) वितरण वातावरण उजागर वेफर सतहों पर कण संदूषण को रोकने के लिए महत्वपूर्ण है।

2. वेफर आकार संगतताSS101 8-इंच और 12-इंच दोनों वेफर्स का समर्थन करता है। 12-इंच FOUP मानक है; पुष्टि करें कि क्या पुराने उत्पादों के लिए 8-इंच ओपन कैसेट कॉन्फ़िगरेशन की आवश्यकता है।

3. स्वचालन स्तरपूर्ण रोबोटिक हैंडलिंग मैन्युअल हस्तक्षेप को समाप्त करती है, प्रदूषण के जोखिम को कम करती है और लाइट-आउट विनिर्माण की अनुमति देती है।

4थर्मल नियंत्रणएकीकृत प्रीहीटिंग और हीट डिस्पैशन स्टेशन पूरे अंडरफिल प्रक्रिया के दौरान एक समान वेफर तापमान सुनिश्चित करते हैं।

5फैब एकीकरणएसईएमआई-अनुकूल संचार प्रोटोकॉल, एएमएचएस इंटरफेस की तत्परता और एसईसीएस/जीईएम समर्थन मौजूदा अर्धचालक कारखाने के बुनियादी ढांचे में निर्बाध एकीकरण के लिए आवश्यक हैं।

अनुप्रयोग क्षेत्र

✔ आरडीएल प्रथम वेफर-स्तरीय पैकेजिंग (डब्ल्यूएलपी)
✔ चिप अंडरफिल (सीयूएफ) अनुप्रयोग
✔ उन्नत 2.5 डी और फैन-आउट पैकेजिंग
✔ वेफर-लेवल CoWoS, FoPoP, और इसी तरह की अगली पीढ़ी की प्रक्रियाएं
✔ बड़े पैमाने पर अर्धचालक कारखानों के लिए उच्च उपज वाली अंडरफिल लाइनें

प्रणाली संरचना

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

प्रश्न 1: एसएस101 को मानक वितरण प्रणालियों से अलग क्या बनाता है?
A: सामान्य प्रयोजन के डिस्पेंसर के विपरीत, SS101 वेफर स्तर के नीचे भरने के लिए विशिष्ट है, वेफर संरेखण, पूर्व ताप,और रोबोटिक ट्रांसफर में निर्मित है जो माइक्रो-बंप स्केल पर समान भरने को सुनिश्चित करता है.

प्रश्न 2: क्या SS101 8 इंच और 12 इंच दोनों वेफर्स को संभाल सकता है?
A: हाँ ️ यह दोनों आकारों का समर्थन करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, मानक के रूप में 12-इंच FOUP संगतता और वैकल्पिक 8-इंच खुली कैसेट विन्यास के साथ।

Q3: SS101 कैसे वेफर की प्रदूषण को कम करने में मदद करता है?
उत्तर: इसका कक्षा 10 वितरण क्षेत्र और निर्बाध रोबोट हैंडलिंग मैन्युअल हस्तक्षेप, धूल प्रवेश और ईएसडी जोखिम को कम करता है।

Q4: क्या SS101 को मौजूदा कारखानों में एकीकृत करना आसान है?
A: बिल्कुल ∙ यह SEMI- अनुरूप वेफर रीडर, AMHS इंटरफेस और मानक फैक्ट्री संचार प्रोटोकॉल का समर्थन करता है.

मिंगसील के बारे में

मिंगसील उच्च परिशुद्धता वितरण, कोटिंग, और वेफर स्तर के द्रव प्रक्रिया समाधानों का एक विश्व स्तर पर मान्यता प्राप्त प्रदाता है। हम अर्धचालक, ऑप्टिकल,और उन्नत पैकेजिंग निर्माताओं के साथ अभिनव स्वचालन उपकरण है कि पैदावार ड्राइव, स्थिरता, और स्मार्ट कारखाने के लक्ष्यों से उच्च मात्रा वाले वेफर अंडरफिल से लेकर अत्याधुनिक 2.5D एकीकरण तक, मिंगसील स्थिर प्रदर्शन, स्थानीय सेवा,और विश्व भर में विश्वसनीय इंजीनियरिंग समर्थन.

Mingseal से संपर्क करेंयह पता लगाने के लिए कि कैसे SS101 वेफर-लेवल डिस्पेंसर आपकी उन्नत पैकेजिंग क्षमताओं को अगले स्तर पर ले जा सकता है।