Marchio: | Mingseal |
Numero modello: | GS600SW |
MOQ: | 1 |
prezzo: | $28000-$150000 / pcs |
Tempo di consegna: | 5-60 giorni |
Termini di pagamento: | L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union |
Macchina per l'Underfill e il Jetting di Flusso a Livello di Wafer per Packaging Avanzato
Il Dispenser GS600SW per Underfill a Livello di Wafer è il modulo di erogazione di punta di Mingseal progettato per la prossima generazione di processi di packaging a livello di wafer (WLP) e di strato di ridistribuzione avanzato (RDL). Costruito per gestire operazioni di underfill e spruzzatura di flusso ad alta complessità, è ideale per applicazioni Fan-Out Wafer-Level Packaging (FoWLP), CoWoS e FoPoP dove sono obbligatorie ultra-alta precisione e consistenza del processo.
Dotato di una trasmissione a motore lineare ad alta stabilità, asse Z a vite di precisione e un sistema di allineamento visivo completamente integrato, il GS600SW garantisce il posizionamento dei punti e il controllo del percorso a livello di micron. Il suo robusto tavolo porta-wafer offre planarità e uniformità della temperatura eccezionali—fondamentali per prestazioni di underfill senza vuoti.
Oltre all'erogazione di underfill, il GS600SW può essere configurato con un modulo valvola spray opzionale per applicare flusso o adesivi in modo uniforme sulle superfici del wafer, aumentando la flessibilità del processo per i produttori che si occupano di linee di packaging flip chip o RDL multi-step.
Vantaggi principali
Ottimizzato per wafer da 8 e 12 pollici
Supporta wafer standard da 200 mm e 300 mm con opzioni di tavolo porta-wafer e cassetta wafer regolabili.
Doppio processo pronto: Underfill + Spruzzatura di flusso
Il modulo valvola spray opzionale estende la capacità di gestire il rivestimento di flusso o i processi di adesione pre-saldatura.
Controllo preciso della temperatura del wafer
Il tavolo a ventosa avanzato con riscaldamento uniforme e feedback in tempo reale garantisce un flusso di materiale stabile e un riempimento senza vuoti.
Accuratezza ultra-fine dei punti
L'accuratezza di posizionamento X/Y entro ±10μm e la ripetibilità dell'asse Z di ±5μm offrono risultati coerenti per le strutture RDL First.
Applicazioni tipiche
✔ RDL First Fan-Out WLP
✔ CoWoS (Chip-on-Wafer-on-Substrate)
✔ FoPoP (Fan-Out Package-on-Package)
✔ Underfill a livello di wafer
✔ Spruzzatura di flusso a livello di wafer
✔ Packaging flip chip a semiconduttore
✔ Rivestimento adesivo dello strato di ridistribuzione
Specifiche tecniche
Livello di pulizia |
Pulizia dell'area di lavoro |
Classe 100 (officina Classe 1000); Classe 10 (officina Classe 100) |
Gamma di applicazione |
Configurazione del wafer |
φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (La versione standard supporta solo 12 pollici) |
Spessore del wafer |
300~25500 μm |
|
Max. Deformazione del wafer accettabile |
5mm (soggetto alla selezione del modello Finger) |
|
Max. Peso del wafer |
600g (soggetto alla selezione del modello Finger) |
|
Tipo di wafer-box supportato |
Cassetta aperta da 8 pollici/ Foup da 12 pollici (La versione standard supporta solo 12 pollici) |
|
Sistema di jetting |
Sistema di trasmissione |
X/Y: Motore lineare Z: Servomotore&Modulo a vite |
Ripetibilità (3sigma) |
X/Y:±3 μ m Z:±5 μ m |
|
Accuratezza di posizionamento (3sigma) |
X/Y:±10 μ m |
|
Velocità massima |
X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s |
|
Accelerazione massima |
X/Y:1g Z: 0.5g |
|
Sistema visivo |
Pixel |
130W |
Accuratezza di identificazione |
±1pixel |
|
Intervallo di identificazione |
10*12mm |
|
Sorgente luminosa |
Luce combinata rossa, verde, bianca + illuminazione rossa extra |
|
Calibrazione della pesatura Sistema |
Accuratezza della pesatura |
0.01mg |
Tavolo porta-wafer |
Planarità di aspirazione del vuoto Deviazione |
≤30μ m |
Deviazione della temperatura di riscaldamento |
±1.5℃ |
|
Ripetibilità dell'altezza di sollevamento |
±10μ m |
|
Pressione di aspirazione del vuoto |
-85~-70KPa (Impostabile) |
|
Condizioni generali |
Ingombro L× P × A |
3075*2200*2200mm (Display screen unfold) |
Peso |
2900kg |
|
Potenza |
16.5KW |
|
Temperatura ambiente di funzionamento |
23℃±3℃ |
|
Umidità ambiente di funzionamento |
30-70% |
FAQ
Q1: A quali applicazioni uniche a livello di wafer è rivolto il GS600SW?
A: È progettato per i processi RDL First Fan-Out WLP, CoWoS e FoPoP in cui sono richiesti sia il controllo fine dell'underfill che la spruzzatura del flusso.
Q2: Come gestisce le dimensioni e la deformazione del wafer?
A: Supporta wafer standard da 8 e 12 pollici con spessori fino a 25.500μm e tolleranza alla deformazione fino a 5 mm, con compatibilità flessibile della scatola del wafer.
Q3: Può essere integrato in linee completamente automatizzate?
A: Assolutamente. Può funzionare con il PC101EFEM di Mingseal per la movimentazione automatica completa dei wafer, il pre-allineamento e l'attracco del robot AMHS.
Q4: Perché scegliere Mingseal per l'erogazione a livello di wafer?
A: Con anni di esperienza nell'underfill e nell'erogazione di fluidi per semiconduttori, Mingseal offre apparecchiature affidabili che integrano meccanica di precisione, controllo stabile e conformità alla camera bianca, aiutando le fabbriche a raggiungere il livello successivo di rendimento ed efficienza dei costi.
Conclusione
Mingseal è un fornitore affidabile di soluzioni di erogazione in linea e a livello di wafer per produttori globali di semiconduttori e packaging avanzato. Dall'underfill al rivestimento di flusso, i nostri sistemi modulari, il controllo intelligente e il design stabile aiutano i nostri partner a fornire prodotti privi di difetti per i mercati 5G, high-performance computing e chip AI.